[发明专利]一种便于对中的团簇束流过滤器及其应用

权利要求书

1.一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，包括主体构件和对中辅助构件，所述主体构件包括设置在安装平面（9）上的环形底座（1）、用于固定环形底座的固定环（2）以及与环形底座可拆卸连接的过滤锥（3）；所述环形底座靠近安装平面的一端外侧设有外台阶环（101），所述固定环上设有安装孔（201），固定环的内侧设有内台阶环（202），所述固定环套设在环形底座外，通过穿过安装孔的第一连接件（4）与安装平面连接，所述环形底座与固定环的内壁之间间隙配合，环形底座上的外台阶环顶面与固定环上的内台阶环顶面相贴合；所述过滤锥与环形底座远离安装平面的一端可拆卸连接；所述对中辅助构件包括对中辅助环（5）和与对中辅助环内径相匹配的、套设在对中辅助环内的对中辅助棒（6）；所述对中辅助环与环形底座可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，所述过滤锥顶端开口，内部中空，过滤锥底部设有向远离轴线的方向延伸的过滤锥连接部（301），所述过滤锥连接部与环形底座通过第二连接件（7）可拆卸连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，所述过滤锥底部设有与环形底座的内径相匹配的卡接凸起（302），所述卡接凸起卡位于环形底座内。

4.根据权利要求1或2所述的一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，所述过滤锥与环形底座的轴线相重合。

5.根据权利要求1所述的一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，所述对中辅助环包括环形本体（501）以及由环形本体顶部向远离环形本体轴线方向延伸形成的辅助环连接部（502），所述环形本体套设在环形底座内，环形本体的外径与环形底座的内径相匹配，所述辅助环连接部与环形底座顶部通过第二连接件可拆卸连接。

6.根据权利要求1或5所述的一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，所述对中辅助环、对中辅助棒及环形底座的轴线相重合。

7.根据权利要求2或5所述的一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，所述第一和第二连接件为连接螺丝。

8.根据权利要求1所述的一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，所述环形底座的上、下表面分别设有密封圈放置槽（102），所述密封圈放置槽内设有密封圈（8）。

9.根据权利要求1~8任意一项所述的一种便于对中的团簇束流过滤器在制作用于空气环境中的氢气传感器中的应用，其特征是，所述氢气传感器包括干燥单元（16）、传感单元及外电路（15）；所述传感单元包括密封腔体（10）以及设置在密封腔体内的传感组件，所述传感组件包括设置在密封腔体底部的绝缘衬底（11）、设置在绝缘衬底上表面的钯团簇薄膜（12）以及设置在钯团簇薄膜两端的两个导电微电极（13），所述钯团簇薄膜通过设有所述团簇束流过滤器的沉积装置沉积在导电微电极之间；所述密封腔体上设有两个接线端子（14），所述接线端子一端位于密封腔体内一端位于密封腔体外，位于密封腔体内的一端与导电微电极通过导线连接，位于密封腔体外的一端与外电路通过导线连接；所述密封腔体与干燥单元连通，所述干燥单元上设有进气口。

10.根据权利要求9所述的一种便于对中的团簇束流过滤器在制作用于空气环境中的氢气传感器中的应用，其特征是，所述氢气传感器的制备方法包括如下步骤：

（1）制备绝缘衬底；

（2）在绝缘衬底表面印刷导电微电极；

（3）通过设有所述团簇束流过滤器的沉积装置在导电微电极之间沉积钯团簇薄膜；

（4）将沉积好钯团簇薄膜的绝缘衬底置于密封腔体内，用导线分别将导电微电极与接线端子位于密封腔体内的一端连接，并用导线将接线端子位于密封腔体外的一端与外电路相连；

（5）组装干燥单元，使干燥单元与密封腔体连通，得到组装完成的氢气传感器；

（6）将组装完成的氢气传感器置于不同浓度的氢气环境当中，通过外电路记录不同浓度的氢气环境中，钯团簇薄膜的宏观电阻变化，拟合响应关系，并将其输入至外电路当中，完成氢气传感器的标定；

（7）将标定后的氢气传感器置于待测的空气环境中，通过外电路对氢气浓度进行测定。