[发明专利]一种交叉排布双环路侧部加热器及晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种晶体生长炉用的侧部电阻加热器，其特征是：

a、包括两个闭合导电环路，分别围绕坩埚一周；

b、在一个导电环路上，设置n个电极接入点，在另一个导电环路上，同样设置n个电极接入点，n=2或3，两个环路的电极接入点在环路周长线上交替布置；

c、石墨电极穿过保温板，直接或通过一个中间连接板，在所述电极接入点处，连接加热器环路；

d、在每一个电极接入点的临近区域内，两个环路各自的高度中心线在竖直方向上发生一次交叉，在交叉点处，通过安装绝缘瓦片或保持空气间隙，实现两个环路间的电绝缘；

e、在每个环路的n个石墨电极上，施加n相交变电压，其频率范围是1到500Hz，两相间电压的范围是12V到72V。

2.如权利要求1所述加热器，其特征在于，所述任一个环路，是由多段不同形状的加热段，使用螺栓依次首尾连接而成的闭环；其中任一段的形状可以是单层直板、并联的多层直板、垂直连接板、垂直或倾斜的Z形交叉点连接板、角部连接板、蛇形周期结构板等。

3.如权利要求1所述加热器，其特征在于，所述两个环路的总计2n个电极接入点，在环路周长线上均匀布置，而将环路周长线分割为大致等长度的2n段。

4.如权利要求1所述加热器，其特征在于，所述电极接入点与其临近区域内的环路交叉点位于环路周长线上大致相同的位置。

5.如权利要求1所述加热器，其特征在于，所述两个环路上施加的交变电压为工频，其两相间电压的范围是24V到48V。

6.如权利要求1所述加热器，其特征在于，n等于2，且在任意一对相邻的分属于不同环路的两个电极上，交变电压所引起的馈入电流之间的相角差的绝对值大约等于90度。

7.如权利要求1所述加热器，其特征在于，n等于3，且所述两个环路上施加的三相交变电压，在周长线上的相序旋转方向相同。

8.如权利要求7所述加热器，其特征在于，在任意一对相邻的分属于不同环路的两个电极上，交变电压所引起的馈入电流之间的相角差的绝对值大约等于60度或120度。

9.如权利要求1所述加热器，其特征在于，n等于3，且所述两个环路上施加的三相交变电压，在周长线上的相序旋转方向相反。

10.一种晶体硅铸锭炉，包括炉体，该炉体内设置有保温层笼体，该保温层笼体内设置有定向凝固热交换块，该热交换块上方设置有坩埚，其特征在于，所述炉体内还设置有如权利要求1-9任一项所述侧部加热器。