[发明专利]一种固体绝缘表面裂纹修复方法及其修复装置

权利要求书

1.一种固体绝缘表面裂纹修复方法，其特征在于，包括：根据固体绝缘部件的类型，选用与等离子体反应后生成介电常数或电阻率为固体绝缘部件±50％的物质的介质溶液作为前驱物，利用微波等离子体射流使含前驱物的等离子体对固体绝缘部件的表面缺陷进行喷涂即可。

2.根据权利要求1所述的一种固体绝缘表面裂纹修复方法，其特征在于，形成微波等离子体射流的过程为：向微波谐振腔体中通入工作气，启动微波源即可产生微波等离子体射流；

形成含前驱物的等离子体的过程为：采用载气通入前驱物中并带出前驱物至微波谐振腔体的出口位置处，与微波等离子体射流结合即可生成含前驱物的等离子体。

3.根据权利要求2所述的一种固体绝缘表面裂纹修复方法，其特征在于，当固体绝缘部件的材质为硅橡胶绝缘子时，所述前驱物选用含硅的介质溶液，当固体绝缘部件的材质为陶瓷时，所述前驱物选用含铝的介质溶液；

所述载气选用氩气与氧气混合气体或者氩气；

所述工作气为氩气或氮气；

优选的，所述含硅的介质溶液中的介质为六甲基二硅氧烷、八甲基环四硅氧烷、正硅酸乙酯或四氯化硅；所述含铝的介质溶液中的介质为三甲基铝溶液、三甲基铝溶胶、氧化铝溶液或氧化铝溶胶。

4.根据权利要求1-3任一所述的一种固体绝缘表面裂纹修复方法，其特征在于，在利用含前驱物的等离子体对固体绝缘部件的表面缺陷进行喷涂之前，采用大气压微波等离子体对固体绝缘部件的表面缺陷进行预处理。

5.一种微波谐振腔体，其特征在于，包括：

中空金属管(5)，顶端为前驱物气体入口；

外腔体(6)，同轴套设在中空金属管(5)外部，其上设置有工作气入口以及微波接口；

调谐器(4)，活动连接在外腔体(6)顶端用于实现外腔体(6)与中空金属管(5)之间的电连接。

6.根据权利要求5所述的一种微波谐振腔体，其特征在于，所述调谐器(4)底端与外腔体(6)顶端之间螺纹连接，调谐器(4)沿着外腔体(6)的中轴线移动用于调节耦合腔体的长度使反射功率为零；

优选的，所述微波接口为BNC接头(3),BNC接头(3)的中心导体和中空金属管(5)连接，BNC接头(3)的外壳与外腔体(6)连接。

7.一种固体绝缘表面裂纹修复装置，其特征在于，包括权利要求5-6任一所述的一种微波谐振腔体。

8.根据权利要求7所述的一种固体绝缘表面裂纹修复装置，其特征在于，还包括与所述中空金属管(5)的前驱物气体入口连通的前驱物存储容器(7)；与所述外腔体(6)的工作气入口连通的工作气存储容器(9)；与所述微波接口连接的微波源(1)。

9.根据权利要求8所述的一种固体绝缘表面裂纹修复装置，其特征在于，所述前驱物存储容器(7)上还连通有驱动前驱物进入中空金属管(5)的载气容器(8)。

10.根据权利要求8或9所述的一种固体绝缘表面裂纹修复装置，其特征在于，所述微波源(1)通过同轴电缆(2)连接在微波接口上。