[发明专利]基板玻璃面抛光生产线系统和基板玻璃面抛光生产方法有效

专利信息
申请号: 202110145118.3 申请日: 2021-02-02
公开(公告)号: CN112792717B 公开(公告)日: 2022-06-07
发明(设计)人: 李青;李赫然;王耀君;廖民安;张旭;李庆文;胡恒广 申请(专利权)人: 河北光兴半导体技术有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭科技集团有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/00;B24B55/06
代理公司: 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 代理人: 胡婷婷
地址: 050035 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 玻璃 抛光 生产线 系统 生产 方法
【说明书】:

本公开涉及一种基板玻璃面抛光生产线系统和基板玻璃面抛光生产方法,基板玻璃面抛光生产线系统包括:托盘供给线,包括托盘输送装置;玻璃输入线,包括玻璃承载台和上片装置,托盘输送装置邻接于上片装置;玻璃输入线,包括贴合装置和输入转送装置;抛光操作线,包括过渡传送装置和抛光机组,过渡传送装置与输入转送装置邻接;玻璃输出线,包括邻接于过渡传送装置的输出转送装置、用于分离抛光后的基板玻璃和托盘的脱片装置、玻璃转送装置和托盘转送装置,脱片装置将基板玻璃传送给玻璃转送装置并将托盘传送给托盘转送装置,托盘转送装置邻接于托盘供给线的输入端。通过上述技术方案,能够满足对采用浮法生产的基板玻璃进行抛光的需求。

技术领域

本公开涉及基板玻璃生产制造技术领域,具体地,涉及一种基板玻璃面抛光生产线系统和基板玻璃抛光生产方法。

背景技术

基板玻璃是目前在微电子、光电子和新能源等高新技术中应用更广、发展最快的特种玻璃之一,其制造工艺主要有溢流熔融法和浮法两种。

溢流熔融法是将熔融玻璃液导入导管,玻璃液到达容积上限后从导管两侧沿管壁向下溢流而出,类似瀑布一样在下方汇流后形成片状基板。通过溢流熔融法生产的玻璃表面清洁度及波纹度较好,因此不需要对成型后的玻璃进行表面抛光处理。然而,溢流熔融法的生产产量较低,因而导致基板玻璃的生产成本也较高。

浮法是将熔融玻璃液传输至装有熔融液态锡的沟槽,利用锡和玻璃的密度差,在玻璃液表面张力和重力作用下自然摊平,再进入冷却室冷却成型。浮法的生产产量比溢流熔融法的生产产量高,但由于与锡接触的玻璃表面波纹度不好且有污染物,因而通过浮法生产的玻璃一般用于建筑玻璃等领域。在通过浮法生产基板玻璃时,需要进行表面抛光处理以达到基板玻璃对表面平整度和洁净度的要求。

发明内容

本公开的目的是提供一种基板玻璃面抛光生产线系统,该基板玻璃面抛光生产线系统能够满足对采用浮法生产的基板玻璃进行抛光的需求。

为了实现上述目的,本公开提供一种基板玻璃面抛光生产线系统,所述基板玻璃面抛光生产线系统包括托盘供给线、玻璃输入线、抛光操作先和玻璃输出线,其中,

所述托盘供给线包括用于输送用于放置基板玻璃的托盘的托盘输送装置,所述玻璃输入线包括用于提供待抛光的基板玻璃的玻璃承载台和位于所述玻璃承载台下游的上片装置,所述托盘输送装置的输出端邻接于所述上片装置,以将所述托盘输送至所述上片装置从而便于机械手将所述玻璃承载台上待抛光的基板玻璃抓取并放置到位于所述上片装置上的托盘上,

所述玻璃输入线包括位于所述上片装置下游的贴合装置和位于所述贴合装置下游的输入转送装置,所述贴合装置用于接收来自所述上片装置的托盘,并且用于将所述托盘上的基板玻璃压贴于所述托盘,并在此之后将托盘及其上的基板玻璃向下游传送给所述输入转送装置,

所述抛光操作线包括过渡传送装置和抛光机组,所述过渡传送装置的输入端与所述输入转送装置邻接,以接收来自所述输入转送装置的托盘及其上的基板玻璃,并且将托盘及其上的基板玻璃提供给抛光机组,

所述玻璃输出线包括输出转送装置、脱片装置、玻璃转送装置和托盘转送装置,所述输出转送装置邻接于所述过渡传送装置的输出端,用于接收来自所述抛光机组的托盘及其上被抛光后的基板玻璃,并且用于将其传送给设置在所述输出转送装置下游的所述脱片装置,

所述脱片装置用于将抛光后的基板玻璃与所述托盘分离,并且将抛光后的基板玻璃传送给设置在所述脱片装置下游的玻璃转送装置以将抛光后的基板玻璃输出,并且将所分离出的托盘传送给设置在所述脱片装置下游的托盘转送装置,所述托盘转送装置邻接于所述托盘供给线的输入端以将所分离出的托盘输送给所述托盘供给线。

可选地,所述托盘供给线包括用于清洗所述托盘的托盘清洗装置,所述托盘清洗装置位于所述托盘输送装置的上游,所述托盘转送装置的输出端邻接于所述托盘清洗装置以将所分离出的托盘输送给所述托盘清洗装置。

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