[发明专利]基板玻璃面抛光设备有效
申请号: | 202110145868.0 | 申请日: | 2021-02-02 |
公开(公告)号: | CN112847119B | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 李青;李赫然;王耀君;廖民安;张旭;李庆文;胡恒广 | 申请(专利权)人: | 河北光兴半导体技术有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭科技集团有限公司 |
主分类号: | B24B29/08 | 分类号: | B24B29/08;B24B41/06;B24B41/02;B24B49/00;B24B55/00 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 胡婷婷 |
地址: | 050035 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 抛光 设备 | ||
1.一种基板玻璃面抛光设备,其特征在于,所述基板玻璃面抛光设备包括相对设置的机架上平台和机架下平台(1)、驱动机构以及用于对基板玻璃(100)抛光的抛光结构(2);
所述驱动机构包括至少两级平行双曲柄机构,
所述至少两级平行双曲柄机构中的第一级平行双曲柄机构的动力输入端连接于所述机架上平台和所述机架下平台(1)中的一者,所述至少两级平行双曲柄机构中的末级平行双曲柄机构的动力输出端与待抛光的基板玻璃(100)和所述抛光结构(2)中的一者连接,待抛光的所述基板玻璃(100)和所述抛光结构(2)中的另一者设置于所述机架上平台和所述机架下平台(1)中的另一者,所述至少两级平行双曲柄机构同时且相互独立地运转,以带动待抛光的所述基板玻璃(100)和所述抛光结构(2)中的一者平行于待抛光的所述基板玻璃(100)和所述抛光结构(2)中的另一者平动。
2.根据权利要求1所述的基板玻璃面抛光设备,其特征在于,任意相邻两级平行双曲柄机构中的主动曲柄的枢转轴线相互错开设置。
3.根据权利要求1所述的基板玻璃面抛光设备,其特征在于,所述驱动机构包括一级平行双曲柄机构(3)和二级平行双曲柄机构(4),所述一级平行双曲柄机构(3)的动力输入端连接于所述机架上平台或所述机架下平台(1)上,所述二级平行双曲柄机构(4)连接于所述一级平行双曲柄机构(3)的第一连杆并且待抛光的所述基板玻璃(100)或所述抛光结构(2)连接于所述二级平行双曲柄机构(4)的第二连杆。
4.根据权利要求3所述的基板玻璃面抛光设备,其特征在于,所述驱动机构包括一级电机,该一级电机固定设置在所述机架上平台或所述机架下平台(1)上,所述一级平行双曲柄机构(3)包括一级主动曲柄(31)、一级从动曲柄(32)和连接所述一级主动曲柄(31)和一级从动曲柄(32)的第一连杆(33),所述一级主动曲柄(31)、所述一级从动曲柄(32)和所述第一连杆(33)均沿水平方向延伸,所述一级主动曲柄(31)的一端与所述一级电机的输出轴连接,所述一级从动曲柄(32)的一端连接于所述机架上平台或所述机架下平台(1)中固定设置有所述一级电机的一者。
5.根据权利要求4所述的基板玻璃面抛光设备,其特征在于,所述一级主动曲柄(31)的一端通过第一联接轴(34)连接于所述一级电机的输出轴、另一端通过第一连接轴(35)连接于所述第一连杆(33),所述第一联接轴(34)和所述第一连接轴(35)均沿竖直方向延伸;
所述一级从动曲柄(32)的一端通过第二联接轴(36)可转动地连接于所述机架上平台或所述机架下平台(1)中固定设置所述一级电机的一者、另一端通过第二连接轴(37)连接于所述第一连杆(33),所述第二联接轴(36)和所述第二连接轴(37)均沿竖直方向延伸,
所述第一联接轴(34)的中心轴线与所述第二联接轴(36)的中心轴线之间的距离等于所述第一连接轴(35)的中心轴线与所述第二连接轴(37)的中心轴线之间的距离,并且所述一级主动曲柄(31)沿水平方向的长度尺寸等于所述一级从动曲柄(32)沿水平方向的长度尺寸。
6.根据权利要求3所述的基板玻璃面抛光设备,其特征在于,所述驱动机构包括二级电机,该二级电机设置在所述第一连杆(33)上,所述二级平行双曲柄机构(4)包括二级主动曲柄(41)、二级从动曲柄(42)和用于装载待抛光的所述基板玻璃(100)或所述抛光结构(2)的装载台(43),所述装载台(43)用作所述二级平行双曲柄机构(4)的第二连杆并且平行于水平方向设置,所述二级主动曲柄(41)和所述二级从动曲柄(42)均沿水平方向延伸,所述二级主动曲柄(41)的一端与所述二级电机的输出轴连接、另一端与所述装载台(43)连接,所述二级从动曲柄(42)的一端连接于所述第一连杆(33)、另一端与所述装载台(43)连接。
7.根据权利要求6所述的基板玻璃面抛光设备,其特征在于,所述基板玻璃(100)或所述抛光结构(2)与所述装载台(43)之间设置有吸附垫(5),所述吸附垫(5)粘接在所述装载台(43)上并将所述基板玻璃(100)或所述抛光结构(2)吸附固定在所述装载台(43)上。
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