[发明专利]陶瓷加热器及热电偶引导件

权利要求书

1.一种陶瓷加热器，其具备：

圆盘状的陶瓷板，其具有晶片载置面；

筒状轴，其一端接合在所述陶瓷板中与所述晶片载置面相反侧的背面；

内周侧电阻发热体，其埋设于所述陶瓷板的内周部；

外周侧电阻发热体，其埋设于所述陶瓷板的外周部；

轴内区域，其为所述陶瓷板的所述背面中的所述筒状轴的内侧；

长孔，其从所述轴内区域的外周部的起点到达所述陶瓷板的外周部的预定的末端位置；

附加部件，其设置于所述轴内区域，包含所述内周侧电阻发热体的一对端子和所述外周侧电阻发热体的一对端子；以及

热电偶引导件，其以热电偶的前端进入所述长孔的所述起点的方式进行引导，

所述热电偶引导件中，从所述筒状轴的另一端到所述长孔的所述起点为止的部分设置成沿着所述筒状轴的内壁的形状。

2.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，所述热电偶引导件沿着所述筒状轴的内壁以形成螺旋的一部分的方式朝向所述长孔的所述起点弯曲。

3.根据权利要求1或2所述的陶瓷加热器，所述热电偶引导件以随着接近所述陶瓷板的所述长孔而朝向所述长孔的长度方向的方式弯曲。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的陶瓷加热器，所述长孔从所述起点朝向所述末端位置弯曲。

5.根据权利要求2所述的陶瓷加热器，所述长孔从所述起点朝向所述末端位置弯曲，

从所述筒状轴的所述另一端侧观察所述陶瓷加热器时，所述长孔的弯曲方向与所述热电偶引导件的弯曲方向一致。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的陶瓷加热器，其具备热电偶，所述热电偶被所述热电偶引导件引导，并以从所述筒状轴的所述另一端穿过所述长孔而到达所述末端位置的方式配置。

7.一种陶瓷加热器，其具备：

圆盘状的陶瓷板，其具有晶片载置面；

筒状轴，其一端接合在所述陶瓷板中与所述晶片载置面相反侧的背面；

内周侧电阻发热体，其埋设于所述陶瓷板的内周部；

外周侧电阻发热体，其埋设于所述陶瓷板的外周部；

轴内区域，其为所述陶瓷板的所述背面中的所述筒状轴的内侧；

长孔，其从所述轴内区域的外周部的起点到达所述陶瓷板的外周部的预定的末端位置；

附加部件，其设置于所述轴内区域，包含所述内周侧电阻发热体的一对端子及所述外周侧电阻发热体的一对端子；以及

热电偶，其配置成从所述筒状轴的另一端穿过所述长孔而到达所述末端位置；

所述热电偶中，从所述筒状轴的所述另一端到所述长孔的所述起点为止的部分设置成沿着所述筒状轴的内壁的形状。

8.根据权利要求7所述的陶瓷加热器，所述热电偶沿着所述筒状轴的内壁以形成螺旋的一部分的方式朝向所述长孔的所述起点弯曲。

9.根据权利要求7或8所述的陶瓷加热器，所述热电偶以随着接近所述长孔而朝向所述长孔的长度方向的方式弯曲。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的陶瓷加热器，所述长孔从所述起点朝向所述末端位置弯曲。

11.根据权利要求8所述的陶瓷加热器，所述长孔从所述起点朝向所述末端位置弯曲，

从所述筒状轴的所述另一端侧观察所述陶瓷加热器时，所述长孔的弯曲方向与所述热电偶的弯曲方向一致。

12.一种热电偶引导件，其从前端部至基端部的区间或从所述前端部至到达所述基端部的中途为止的区间以形成螺旋的一部分的方式弯曲。