[发明专利]一种用于化学机械抛光的柔性膜、承载头及抛光设备

权利要求书

1.一种用于化学机械抛光的柔性膜，其特征在于，包括：

用于接收基板的底板部；

圆环状的边缘侧壁，该边缘侧壁具有沿所述底板部的周缘向上延伸形成的直立部、从直立部上端朝上延伸形成的竖向延伸部、从竖向延伸部朝上向内拱起的凸起部和从所述凸起部下端向内侧水平延伸形成的第一水平延伸部；

以及与所述边缘侧壁同心相邻设置的内侧壁，所述内侧壁在其顶端具有弯向内侧水平延伸的第二水平延伸部；

所述凸起部的壁厚小于所述底板部的壁厚；所述凸起部的壁厚小于所述竖向延伸部的壁厚；所述底板部的边缘部分的厚度由内向外逐渐变小。

2.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，所述凸起部的横向宽度为所述第一水平延伸部的1/4～1/2。

3.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，所述凸起部沿竖直方向拱起的高度为所述竖向延伸部长度的1/5-1/3。

4.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，所述边缘侧壁还包括过渡部，其位于所述竖向延伸部与所述凸起部之间，所述过渡部自竖向延伸部的上端朝上向内延伸，所述凸起部自所述过渡部的上端竖直向上延伸、经圆弧过渡后再竖直向下延伸。

5.如权利要求4所述的柔性膜，其特征在于，所述过渡部为圆弧过渡或直线过渡，其壁厚等于所述竖向延伸部的壁厚。

6.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，还包括从所述边缘侧壁的内表面朝径向内侧水平延伸的间隔板，所述间隔板的壁厚小于所述底板部的壁厚。

7.如权利要求6所述的柔性膜，其特征在于，所述间隔板的内沿较所述第二水平延伸部的内沿远离所述底板部的中心位置。

8.一种承载头，其特征在于，包括权利要求1至7任一项所述的用于化学机械抛光的柔性膜。

9.一种抛光设备，其特征在于，包括权利要求8所述的承载头。