[发明专利]一种高频往复精密位移装置

权利要求书

1.一种高频往复精密位移装置，其特征在于：

包括：

驱动单元，其固定设置于基座（4）表面；

弹簧组件（2），其存储或释放从所述驱动单元获得的能量，所述驱动单元驱动弹簧组件（2）往复运动；

弹簧刚度调节组件（3），其用于调节所述弹簧组件（2）的刚度；

位置检测组件（5），其用于检测所述弹簧组件（2）的振幅并将检测结果反馈给控制单元；

控制单元，其根据所述弹簧组件（2）的振幅控制所述驱动单元输出的驱动力；

所述驱动单元为电机（1），其包括电机定子（101）及电机动子（102），所述电机（1）驱动电机动子（102）做往复运动；

所述弹簧组件（2）包括弹簧（201）、弹簧前端固定件（202）及弹簧后端固定件（203），所述弹簧（201）一端与弹簧前端固定件（202）固定连接，其另一端与弹簧后端固定件（203）固定连接，所述弹簧后端固定件（203）与基座（4）固定连接；

还包括刚柔耦合平台（7），所述刚柔耦合平台（7）包括柔性平台（701）、刚性框架（702）、柔性铰链（703）及弹簧钢片组件（704），所述柔性铰链（703）及弹簧钢片组件（704）将柔性平台（701）与刚性框架（702）连接起来，所述电机动子（102）与柔性平台（701）固定连接，所述弹簧前端固定件（202）与刚性框架（702）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种高频往复精密位移装置，其特征在于：所述弹簧刚度调节组件（3）包括弹簧刚度内调节件（301）及弹簧刚度外调节件（302），所述弹簧刚度内调节件（301）与弹簧（201）为螺旋配合，所述弹簧刚度内调节件（301）与弹簧刚度外调节件（302）相连接，所述弹簧刚度外调节件（302）与基座（4）相连接。

3.根据权利要求2所述的一种高频往复精密位移装置，其特征在于：所述位置检测组件（5）包括读数头（501）、光栅尺（502）及读数头固定件（503），所述读数头固定件（503）与电机动子（102）固定连接，所述读数头（501）与读数头固定件（503）固定连接，所述光栅尺（502）与基座（4）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种高频往复精密位移装置，其特征在于：还包括刚性平台（6），包括工作台（601）、第一柔性铰链导向机构（602）及第一远端固定块（603），所述电机动子（102）与工作台（601）固定连接；所述第一远端固定块（603）与基座（4）固定连接，所述第一柔性铰链导向机构（602）将工作台（601）与第一远端固定块（603）连接起来，所述弹簧前端固定件（202）与工作台（601）固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种高频往复精密位移装置，其特征在于：所述刚柔耦合平台（7）还包括第二柔性铰链导向机构（705）及第二远端固定块（706），所述第二柔性铰链导向机构（705）将刚性框架（702）与第二远端固定块（706）连接起来。

6.根据权利要求5所述的一种高频往复精密位移装置，其特征在于：所述弹簧钢片组件（704）包括弹簧钢片夹块（7041）、螺母条（7042）、弹簧钢片（7043）及弹簧钢片中压块（7044），所述弹簧钢片（7043）放置在两块弹簧钢片夹块（7041）的缝隙中，上下两个螺母条（7042）配合螺栓将弹簧钢片（7043）、弹簧钢片夹块（7041）与刚性框架（702）固定连接，所述弹簧钢片中压块（7044）将弹簧钢片（7043）中部固定在柔性平台（701）上。

7.根据权利要求5所述的一种高频往复精密位移装置，其特征在于：还包括导轨滑块组件（8），所述导轨滑块组件（8）包括导轨（801）及滑块（802），所述滑块（802）与导轨（801）相配合，所述导轨（801）与基座（4）固定连接，所述刚性框架（702）与滑块（802）固定连接。