[发明专利]一种可拉伸光电探测器及其制备方法有效
申请号: | 202110147132.7 | 申请日: | 2021-02-03 |
公开(公告)号: | CN112968131B | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | 徐海华;乔萌 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | H10K30/88 | 分类号: | H10K30/88;H10K30/65;H10K39/30;H10K71/00 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 刘芙蓉;吴志益 |
地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 拉伸 光电 探测器 及其 制备 方法 | ||
1.一种可拉伸光电探测器,其特征在于,包括衬底,设置在所述衬底上的源极、漏极和栅极,设置在所述源极、漏极和栅极两两之间的蛇形电极,设置在所述栅极上的有源层,包裹在所述衬底、源极、漏极、栅极和有源层外的介电层,所述介电层的材料为醇类水凝胶;所述醇类水凝胶为基于乙二醇的水凝胶;
所述基于乙二醇的水凝胶由乙二醇、海藻酸钠、丙烯酰胺、过硫酸铵、N,N′-亚甲基双丙烯酰胺、硫酸钙、1,2-双(二甲基氨基)乙烷和去离子水制备得到;所述基于乙二醇的水凝胶与有源层的接触面形成双电层结构;所述源极、漏极、栅极和蛇形电极均包括粘附层和导电层,所述粘附层靠近所述衬底设置,所述粘附层的材料为金属铬或钛,所述导电层的材料为金属金;所述粘附层的厚度为5-10nm,所述导电层的厚度为90-100nm;
所述乙二醇与去离子水的质量比为(3.4~12.5):86;所述海藻酸钠和丙烯酰胺的质量比为(1~1.5):(2.6:3.0),过硫酸铵和N,N′-亚甲基双丙烯酰胺的质量比为(16.6~17):1;
所述介电层的厚度为15±3mm;
所述衬底的材料为氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物;
所述有源层的材料为聚合物和富勒烯衍生物的混合物;
所述聚合物为聚(二酮吡咯并吡咯并噻吩并噻吩),所述富勒烯衍生物为[6,6]-苯基-C61-丁酸异甲酯;
所述聚(二酮吡咯并吡咯并噻吩并噻吩)与[6,6]-苯基-C61-丁酸异甲酯的质量比为(8~8.5):(4~4.5)。
2.一种如权利要求1所述可拉伸光电探测器的制备方法,其特征在于,包括步骤:
提供基底;
在基底上制备衬底;
在衬底上制备源极、漏极、栅极和蛇形电极;
在栅极上制备有源层;
将衬底从基底上剥离;
将介电层包裹在衬底、源极、漏极、栅极、蛇形电极和有源层外,所述介电层的材料为醇类水凝胶,得到所述可拉伸光电探测器;所述醇类水凝胶为基于乙二醇的水凝胶;
所述基于乙二醇的水凝胶由乙二醇、海藻酸钠、丙烯酰胺、过硫酸铵、N,N′-亚甲基双丙烯酰胺、硫酸钙、1,2-双(二甲基氨基)乙烷和去离子水制备得到;
在栅极上制备有源层的步骤,具体包括:
将聚(二酮吡咯并吡咯并噻吩并噻吩)和[6,6]-苯基-C61-丁酸异甲酯溶解于二氯苯中,加热搅拌,过滤,得到聚(二酮吡咯并吡咯并噻吩并噻吩)和[6,6]-苯基-C61-丁酸异甲酯共混溶液;
将所述聚(二酮吡咯并吡咯并噻吩并噻吩)和[6,6]-苯基-C61-丁酸异甲酯共混溶液旋涂在栅极上,进行退火处理,得到所述有源层;所述加热搅拌的温度为95℃,时间为6h;所述退火处理的温度为145℃,时间为20min;所述旋涂采用前转加后转的方式,所述前转的转速为500rmp,时间为2s,所述后转的转速为2500rmp,时间为60s;
将介电层包裹在衬底、源极、漏极、栅极、蛇形电极和有源层外的步骤,具体包括:
将海藻酸钠、丙烯酰胺和乙二醇加入到去离子水中,静置至完全溶解,得到第一水凝胶前体溶液;
在所述第一水凝胶前体溶液中加入过硫酸铵和N,N'-亚甲基双丙烯酰胺,完全溶解后,进行抽真空,除去气泡,得到第二水凝胶前体溶液;
将设置有源极、漏极、栅极、蛇形电极和有源层的衬底与所述第二水凝胶前体溶液混合,加入硫酸钙和1,2-双(二甲基氨基)乙烷,在恒温水浴中,进行紫外灯照射,然后裁剪剥离,得到所述可拉伸光电探测器;
所述恒温水浴的温度为50℃;所述紫外灯的波长为254nm,功率为8W;所述紫外灯照射时间为(1~2)h。
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