[发明专利]基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法在审
| 申请号： | 202110148034.5 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN112960644A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 刘德明;申德振;刘雷;徐海;程祯;梁哲文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;C01B32/15;B82B1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 于晓庆 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 针尖 增强 电子束 诱导 纳米 结构 可控 生长 方法 | ||
1.基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、以纳米针尖为基底，装载在透射电子显微镜样品杆上；
步骤二、操作透射电子显微镜，汇聚电子束光斑辐射纳米针尖表面，诱导纳米针尖表面的非晶碳三维纳米结构生长；
步骤三、按照设计好的模型图案移动电子束光斑进行直写，纳米针尖表面的非晶碳三维纳米结构跟随着电子束光斑的移动进行生长，从而实现对纳米针尖表面非晶碳三维纳米结构的可控生长。
2.根据权利要求1所述的基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法，其特征在于，步骤一中，所述纳米针尖的曲率半径为2～100nm。
3.根据权利要求2所述的基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法，其特征在于，步骤一中，所述纳米针尖的曲率半径为10nm。
4.根据权利要求1所述的基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法，其特征在于，步骤一中，所述纳米针尖采用金属钨、金属银、金属铂或金属铜制成。
5.根据权利要求1所述的基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法，其特征在于，步骤一中，所述纳米针尖是通过将金属丝依次经KOH-HClO4甲醇溶液腐蚀、FIB离子束刻蚀加工而成。
6.根据权利要求5所述的基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法，其特征在于，所述金属丝的直径为0.2～1mm。
7.根据权利要求1所述的基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法，其特征在于，步骤二和步骤三中，所述透射电子显微镜的工作参数为：电镜加速电压为80～300KV，放大倍数为500～800K，电子束光斑直径为2～100nm，电子束光斑移动速度为1～50nm/s。
8.根据权利要求7所述的基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法，其特征在于，步骤二和步骤三中，所述透射电子显微镜的工作参数为：电镜加速电压为200KV，放大倍数为650K，电子束光斑直径为10nm，电子束光斑移动速度为25nm/s。
9.如权利要求1至8中任意一项所述的基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法所制备的非晶碳三维纳米结构。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110148034.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
