[发明专利]一种晶片边缘抛光装置和抛光方法

权利要求书

1.一种晶片边缘抛光装置，其特征在于，包括晶片固定翻转组件、晶片旋转组件和抛头驱动组件；

所述晶片固定翻转组件包括推进直线模组和机座，推进直线模组安装在推进直线模组安装板上，顶紧气缸安装块固定在推进直线模组的滑块上；顶紧气缸固定在顶紧气缸安装块上，气缸活塞杆连接顶紧块，顶紧块安装在支撑座连接块上，支撑座连接块上固定安装有支撑座和摆动电机安装座；摆动电机安装座上安装有摆动电机，主动带轮安装在摆动电机上；机座侧部设有水平直线导轨，支撑座与直线导轨的滑块相连，机座内顶部设有水平摆动转轴，从动带轮安装在摆动转轴一端，同步带轮将主动带轮和从动带轮相连；摆臂安装固定在摆动转轴的另一端，从动支撑座设于机座旁侧，从动支撑座上也设有能摆动的支撑臂，支撑臂与摆臂分设于晶片旋转组件两侧用于支撑晶片旋转组件；晶片设于晶片旋转组件上；

所述抛头驱动组件包括基座，基座固定在机架上，直线轴承安装板安装在基座上，直线轴承安装板上设有多个直线轴承，每个直线轴承内设有一根导向轴，导向轴的上端与上连接板固定，下端与下安装板固定；上安装板与升降直线模组的滑块相连，在升降直线模组的驱动下，下安装板能上下做直线运动；下安装板上安装有抛头驱动电机安装座，抛头驱动电机安装座上安装有抛头驱动电机，电机的输出轴上固定有主动齿轮，抛头组件通过轴设于下安装板下方，所述轴顶端设有从动齿轮，从动齿轮与所述主动齿轮啮合；抛头组件包括抛光布，下安装板下方还设有喷嘴安装块，喷嘴安装块上设有扇形喷头，用于向抛光布上喷射抛光液。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，晶片旋转组件包括旋转电机安装座，旋转电机安装在旋转电机安装座上，旋转轴安装在旋转电机上，旋转轴的上端安装有真空吸盘，下端安装有真空旋转接头；旋转电机安装座的两侧对称水平安装有两个定位气缸，导向杆的一端与气缸活塞杆相连，另一端连接定位滑块，定位滑块上设有个定位导轮。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，抛头组件包括还包括旋转接头和抛头轴承，抛头轴承通过抛头轴承座安装在下安装板上，抛头轴承内圈安装有空心抛头转轴，从动齿轮安装在抛头转轴上部，抛头转轴的上端安装有旋转接头；抛光布安装块安装在抛头转轴的下端，抛光布设于抛光布安装块上；抛光液导管设于抛头转轴内，顶端连通旋转接头，底端与抛光布安装块相连，抛光布安装块内设有液体通路，与抛光液导管连通。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气缸活塞杆上设有顶紧螺母，用来挤压顶紧块。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述直线轴承安装板为矩形，四个直线轴承分设于直线轴承安装板四角。

6.一种利用权利要求1所述的装置进行的晶片边缘表面抛光方法。