[发明专利]一种液晶面板的清洗设备

说明书

本发明公开了一种液晶面板的清洗设备，包括：机架。超声波干洗头，超声波干洗头安装于机架上。滑台可沿第一方向滑动地设于机架上。载板用于承载玻璃基板，载板上设有气孔。升降杆，升降杆可上下移动地设于机架上，升降杆向上移动用于将玻璃基板托起，升降杆向下移动用于将玻璃基板放置到载板上。第一归正头沿第一方向移动以在第一方向上归正玻璃基板。第二归正头沿第二方向移动以在第二方向上归正玻璃基板。在使用时，机械手将玻璃基板放置到载板上后利用真空吸附玻璃基板，滑台移动通过超声波干洗头以达到清洗玻璃基板的目的后，滑台返回，再由机械手带走玻璃基板。本设备便于自动装夹且操作时间短，便于实现。

技术领域

本发明涉及面板加工领域，尤其是涉及一种液晶面板的清洗设备。

背景技术

在TFT-LCD的制造工序中，当玻璃基板表面存在的颗粒粒径为线宽1/3左右时，短线、短路等缺陷的出现频率倍增，为了克服这一缺陷，在对玻璃基板的表面供给给定的处理液进行处理后，对该玻璃基板进行洗净工序。为了提高洗净效果，超声波清洗技术逐渐出现在TFT-LCD玻璃基板流程中，超声波清洗技术是一种多应用于精密机械及特种精细机构领域的清洗方法，可以在很大程度上提高TFT-LCD玻璃基板的洗净效果。但是，现有技术中的超声波干洗设备装夹通常是人工装夹，为避免对玻璃基板的损坏，其操作时间长。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提供一种液晶面板的清洗设备。

本发明的技术方案如下：一种液晶面板的清洗设备，包括：机架；超声波干洗头，所述超声波干洗头可拆卸安装于所述机架上；滑台，所述滑台可沿第一方向滑动地设于所述机架上，所述机架上设有第一驱动机构，所述第一驱动机构用于驱动所述滑台移动；载板，所述载板可拆装设于所述滑台上，所述载板的上表面用于承载玻璃基板，所述载板的上表面向下凹陷形成避空槽，所述避空槽内设有多个间隔开的支撑凸起，所述载板上设有气孔，所述气孔贯穿至所述载板的上表面，所述气孔适于与外部负压设备相连以将所述玻璃基板吸附在所述载板上；升降杆，所述升降杆可上下移动地设于所述机架上，所述机架上设有第二驱动机构，所述第二驱动机构用于驱动所述升降杆上下移动，当所述升降杆向上移动时，所述升降杆用于将所述玻璃基板托起，当所述升降杆向下移动时，所述升降杆用于将所述玻璃基板放置到所述载板上；第一归正头，所述载板的沿所述第一方向的两侧分别设有所述第一归正头，所述载板上设有第三驱动机构，所述第三驱动机构用于驱动所述第一归正头沿所述第一方向移动以在所述第一方向上归正所述玻璃基板；第二归正头，所述载板的沿第二方向的两侧分别设有所述第二归正头，所述滑台上设有第四驱动机构，所述第四驱动机构用于驱动所述第二归正头沿所述第二方向移动以在所述第二方向上归正所述玻璃基板，其中所述第一方向和所述第二方向垂直。

进一步地，所述升降杆的顶端设有支撑头，所述支撑头被构造成吸嘴或锥形圆头。

进一步地，所述机架上设有避让口，所述滑台可通过所述避让口滑入或滑出所述机架。

进一步地，所述第一驱动机构包括第一电机和丝杆，所述丝杆可转动地安装在所述机架上，所述第一电机与所述丝杆相连以驱动所述丝杆转动，所述滑台与所述丝杆螺纹配合。

进一步地，所述气孔设于所述载板的外周面上，所述气孔为多个，多个所述气孔沿所述载板的周向间隔排布。

进一步地，还包括升降架，所述升降架设于所述载板下方并与所述第二驱动机构相连，所述升降杆安装于所述升降架上，所述载板上设有贯穿所述载板的避让孔，所述升降杆可上下移动地穿设于所述避让孔内，所述升降杆和所述避让孔均为多个且一一对应配合。

进一步地，所述第二驱动机构包括第一气缸，所述第一气缸的一端与所述滑台相连，另一端与所述升降架相连，所述第一气缸外罩有第一防护罩，所述第一防护罩上设有适于与外部负压设备相连通的第一排气口。