[发明专利]一种用于模拟月球大布尘环境的真空系统

权利要求书

1.一种用于模拟月球大布尘环境的真空系统，其特征在于，包括粗抽系统、高真空机组、压力测量系统、复压系统、真空阀门系统和管道系统，

所述粗抽系统包括无油罗茨泵组和螺杆干泵，所述粗抽系统的粗抽管道与月尘舱(1)连接，所述粗抽系统负责完成容器粗抽，建立最初的基本真空环境；

所述高真空机组包括低温泵主抽系统和分子泵辅抽系统，所述低温泵主抽系统用于试验压力的建立和维持；所述分子泵辅抽系统用于低温泵辅助抽气，还作为设备的检漏系统；

所述复压系统用于将真空容器内的真空环境恢复到大气环境，所述真空阀门系统包括若干阀门用于导通和切断气路，所述管道系统包括排气管道、水路系统和气路系统。

2.根据权利要求1所述的用于模拟月球大布尘环境的真空系统，其特征在于，所述粗抽系统能够在10h内将月尘舱(1)容器内的气压抽至≤10Pa。

3.根据权利要求1所述的用于模拟月球大布尘环境的真空系统，其特征在于，所述粗抽系统安装有智能开度调节阀，进行抽速控制分阶段调整扬尘压力变化率。

4.根据权利要求1所述的用于模拟月球大布尘环境的真空系统，其特征在于，所述粗抽系统接口放置在月尘舱(1)舱体顶部，远离粉尘布置区域。

5.根据权利要求1所述的用于模拟月球大布尘环境的真空系统，其特征在于，所述粗抽系统在粗抽管道上设置有真空过滤设备。

6.根据权利要求1所述的用于模拟月球大布尘环境的真空系统，其特征在于，所述低温泵主抽系统、分子泵辅抽系统和粗抽系统与月尘舱(1)之间通过高真空气动闸板阀连接，粗抽系统和复压系统用于调节气流的阀门采用智能开度调节蝶阀，复压系统采用质量流量控制器、气动/手动截止阀，粗抽系统采用气动蝶阀。

7.根据权利要求1所述的用于模拟月球大布尘环境的真空系统，其特征在于，所述排气管道包括粗抽管道(2)、分子泵前级管道(7)和低温泵再生管道(8)，所述粗抽管道(2)、分子泵前级管道(7)和低温泵再生管道(8)分别与月尘舱(1)连接。

8.根据权利要求1所述的用于模拟月球大布尘环境的真空系统，其特征在于，所述气路系统包括氮气系统和压缩空气系统，所述氮气系统用于对复压系统提供氮气供应，所述压缩空气系统用于对真空系统所有气动阀门提供开闭动力和干泵吹扫。