[发明专利]一种半导体测试用多方式测试系统

权利要求书

1.一种半导体测试用多方式测试系统，其特征在于：包括PC主机(1)以及与PC主机(1)之间信号连接的DA模块(2)和AD模块(3)；

所述PC主机(1)通过DA模块(2)信号连接有信号控制模块(4)，所述信号控制模块(4)信号连接有功率输出模块(5)，所述功率输出模块(5)信号连接有测试模块(6)；

所述测试模块(6)用于完成测试器件(7)的测试作业；

所述测试模块(6)还信号连接有采样模块(8)，所述采样模块(8)信号连接有信号处理模块(9)，所述信号处理模块(9)通过AD模块(3)将测试信号反馈至PC主机(1)上，完成测试器件(7)的测试过程。

2.根据权利要求1所述的一种半导体测试用多方式测试系统，其特征在于，所述PC主机(1)内预设有测试软件，测试以IGBT的测试标准为依据进行编写，对测试反馈数据进行存储、显示和判断，并根据设计完成硬件加密功能，通过软件启动检测串口，在串口开起后发送检测指令，并根据相应规则返回检测代码，实现软硬件的结合加密。

3.根据权利要求1所述的一种半导体测试用多方式测试系统，其特征在于，所述DA模块(2)是选用16位并口输入的高速DAC709KH芯片，高速DAC709KH芯片将数据信号转化成模拟信号的电压量，其电压量是-10V～10V，在测试时，所述DA模块(2)至少发出一个脉冲信号。

4.根据权利要求1所述的一种半导体测试用多方式测试系统，其特征在于，所述信号控制模块(4)用于将信号分成低源信号和高源信号，并将其输出，低源信号分为低源电压源和低源电流源，高源信号分为高源电压源、高源电流源，所述功率输出模块(5)是信号放大成所需要的功率信号输出到测试模块(6)上。

5.根据权利要求4所述的一种半导体测试用多方式测试系统，其特征在于，所述测试模块(6)与功率输出模块(5)配合使用，完成测试器件(7)的测试。

6.根据权利要求1所述的一种半导体测试用多方式测试系统，其特征在于，所述采样模块(8)包括电压信号或电流信号的采样，用于电压或电流加载到与测试器件(7)连接的测试模块(6)上后，将测试模块(6)上产生的测量的电压信号或电流信号进行采集。

7.根据权利要求6所述的一种半导体测试用多方式测试系统，其特征在于，所述采样模块(8)的采样方式分为普通电压采样、差分电流采样、普通电流采样、高压采样和大电流采样。

8.根据权利要求1所述的一种半导体测试用多方式测试系统，其特征在于，所述信号处理模块(9)是将采样模块(8)的信号进行判断，分别判断出电压信号还是电流信号，并放大或缩小成标准的电压信号输送至AD模块(3)上。

9.根据权利要求1所述的一种半导体测试用多方式测试系统，其特征在于，所述AD模块(3)还连接有滤波电路，滤波电路分为低通滤波和高通滤波，低通滤波是由运放组成的低通滤波器，高通滤波是UAF42AP滤波芯片。

10.根据权利要求1所述的一种半导体测试用多方式测试系统，其特征在于，所以AD模块(3)具体为16位的高速ADC700KP芯片，采样速度是2uS，且在高速ADC700KP芯片前加有采样保持器SHC5320KP，用于保证信号的稳定性，再将信号反馈至PC主机(1)上。