[发明专利]线宽补偿方法及装置、服务器和存储介质

说明书

本发明公开了一种线宽补偿方法及装置、服务器和存储介质。根据本发明实施例的线宽补偿方法包括获取第一布线集合，所述第一布线集合中的至少一部分布线为待补偿布线；根据布线间间距，从所述第一布线集合中筛选出第二布线集合；根据布线宽度，从所述第二布线集合中筛选出第三布线集合；以及对所述第三布线集合中的布线进行宽度补偿。根据本发明实施例的线宽补偿方法及装置、服务器和存储介质，补偿效率高，补偿准确且精度高。

技术领域

本发明涉及电子设计自动化技术领域，特别涉及一种线宽补偿方法及装置、服务器和存储介质。

背景技术

随着电子技术的高速发展，印刷线路板的线路集成度越来越高，线路的精密度要求也越来越高。

CD(critical dimension，设计中的最小线宽)补偿(Compensation)用于在小屏布线后对布线结果进行补偿。在现有的生产过程中，对印刷线路板的曝光和刻蚀都会导致最终生产出来的线路(path)的宽度比设计宽度要小。在线路(path)宽度小于最小工艺间距时，这种现象尤其严重，直接导致占空比小的地方线宽小太多，电阻和线宽变化激烈都会影响产品的良率。此外，由于窄边框面板的应用需求，面板设计中给COG(Chip On Glass，玻璃衬底芯片)台阶留下的宽度越来越小。因此，布线的宽度必须要突破曝光机最小线宽的限制。但是当CD值小于曝光机最小线宽时，在占空比较小的区域，布线宽度被侵蚀更严重，发生实际生产所得宽度比设计宽度小的多或者断线的问题。

因此，希望能有一种新的线宽补偿方法及装置、服务器和存储介质，能够克服上述问题。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种线宽补偿方法及装置、服务器和存储介质，从而提高补偿效率，提高补偿准确性和补偿精度。

根据本发明的一方面，提供一种线宽补偿方法，包括获取第一布线集合，所述第一布线集合中的至少一部分布线为待补偿布线；根据布线间间距，从所述第一布线集合中筛选出第二布线集合；根据布线宽度，从所述第二布线集合中筛选出第三布线集合；以及对所述第三布线集合中的布线进行宽度补偿。

优选地，所述获取第一布线集合包括查询布线；判断是否有已选中布线，其中，在存在所述已选中布线时，将查询出的布线和所述已选中布线合并，得到所述第一布线集合；在不存在所述已选中布线时，将查询出的布线作为所述第一布线集合。

优选地，所述根据布线间间距，从所述第一布线集合中筛选出第二布线集合包括找到相邻间距大于设定间距的图形的边段，记为所述第二布线集合。

优选地，所述根据布线宽度，从第二布线集合中筛选出第三布线集合包括在所述第二布线集合中找到宽度小于或等于设定宽度的图形的边段，作为所述第三布线集合。

优选地，所述根据布线宽度，从第二布线集合中筛选出第三布线集合包括在所述第一布线集合中，找到宽度大于设定宽度的图形的边段，记为筛除布线集合；以及在所述第二布线集合中剔除属于所述筛除布线集合的部分，得到所述第三布线集合。

优选地，所述对所述第三布线集合中的布线进行宽度补偿包括连接所述第三布线集合中所有图形的边段成图形轮廓点链；以及以所述点链为中心线创建等边线路，其中，创建的所述等边线路的宽度大于所述线路对应部分在所述第一布线集合中的宽度。

优选地，所述对所述第三布线集合中的布线进行宽度补偿包括对所述第三布线集合中的布线进行预补偿；根据所述布线间间距，从所述第三布线集合中筛选出第四布线集合；以及对所述第四布线集合中的布线进行宽度补偿。

优选地，所述线宽补偿方法还包括对补偿部分的端部进行倒角处理。