[发明专利]一种蒸镀设备有效
申请号: | 202110152215.5 | 申请日: | 2021-02-03 |
公开(公告)号: | CN112981314B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 何瑞亭;李晓康 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/26;C23C14/12;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 远明 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 设备 | ||
1.一种蒸镀设备,其特征在于,包括:
基台,所述基台上设置有蒸镀源;
第一蒸镀挡板,所述第一蒸镀挡板沿垂直所述基台的方向设置在所述基台上,并围设在一所述蒸镀源外侧周缘;
遮挡部,所述遮挡部设置在所述第一蒸镀挡板远离所述基台的一侧,所述遮挡部与所述第一蒸镀挡板盖合;
第二蒸镀挡板和连接部;所述第二蒸镀挡板沿垂直所述基台的方向设置在所述基台上,并设在所述第一蒸镀挡板远离所述蒸镀源的一侧周缘;所述连接部沿垂直所述基台的方向设置在所述基台上,并设置在所述第一蒸镀挡板与所述第二蒸镀挡板之间,所述连接部连接所述遮挡部;所述连接部
2.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,还包括第一开关组件,所述第一开关组件连接所述第一蒸镀挡板与所述遮挡部,所述第一开关组件用于控制所述遮挡部开合。
3.根据权利要求2所述的蒸镀设备,其特征在于,还包括第一电力装置,所述第一电力装置连接所述第一开关组件,所述第一电力装置用于电力控制所述第一开关组件,以控制所述遮挡部开合。
4.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,所述连接部包括伸缩组件,所述伸缩组件用于控制所述遮挡部在垂直所述基台的方向移动并控制所述遮挡部开合。
5.根据权利要求4所述的蒸镀设备,其特征在于,所述伸缩组件为伸缩杆、滑轨或剪刀叉中的任一种。
6.根据权利要求4所述的蒸镀设备,其特征在于,所述伸缩组件连接有第二电力装置,所述第二电力装置设置在所述第一蒸镀挡板与所述第二蒸镀挡板之间,所述第二电力装置用于控制所述伸缩组件伸缩。
7.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,所述连接部包括伸缩组件和第二开关组件,所述伸缩组件与第二开关组件的连接关系,所述伸缩组件用于控制所述遮挡部在垂直所述基台的方向移动,所述第二开关组件用于控制所述遮挡部开合。
8.根据权利要求7所述的蒸镀设备,其特征在于,所述第二开关组件设置在靠近所述遮挡部的一侧,所述第二开关组件连接有第二电力装置,所述第二电力装置用于电力控制所述第二开关组件以使所述遮挡部开合。
9.根据权利要求8所述的蒸镀设备,其特征在于,所述第二开关组件包括第一连接件及传动件,所述第一连接件连接所述遮挡部与所述传动件,所述传动件连接所述伸缩组件,所述伸缩组件进行伸缩以控制所述传动件传动带动所述第一连接件运动,使所述遮挡部开合。
10.根据权利要求8所述的蒸镀设备,其特征在于,所述第二开关组件包括第二连接件及转动件,所述第二连接件连接所述转动件与所述遮挡部,所述转动件控制所述遮挡部转动开合。
11.根据权利要求8所述的蒸镀设备,其特征在于,所述第二开关组件包括半圆齿轮、齿轮及第三连接件,所述第三连接件连接所述齿轮与所述伸缩组件,所述齿轮与所述半圆齿轮啮合,所述半圆齿轮连接所述遮挡部,所述遮挡部通过所述齿轮传动进行开合。
12.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,所述遮挡部靠近所述基台的一侧沿垂直所述基台的方向设置有与所述第一蒸镀挡板形状对应的第一密封挡板、第二密封挡板及第三密封挡板,所述第一密封挡板与所述第二蒸镀挡板之间具有第一间隙,所述第一蒸镀挡板嵌入所述第一间隙中;所述第二密封挡板与所述第三密封挡板之间具有第二间隙,所述第二蒸镀挡板嵌入所述第二间隙中。
13.根据权利要求12所述的蒸镀设备,其特征在于,所述第二密封挡板靠近所述基台的一侧设置为倒角。
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