[发明专利]一种异质结光伏电池栅线电极制作方法

权利要求书

1.一种异质结光伏电池栅线电极制作方法，包括在N型衬底硅片的正反两面，分布非晶硅膜,在非晶硅膜外又沉积一层透明导电金属氧化物膜形成正电极面和负电极面，在正电极表面和负电极表面上，分布着栅线电极，其特征在于，制作方法如下：

一、异质结电池主体制成，即由N型晶硅制成衬底硅片，在硅片正反两面分别沉积氢化非晶硅膜；

二、在正反非晶硅膜外，再分别沉积一层透明导电金属氧化物膜作为异质结光伏电池的正电极面和负电极面；

三、将超声波焊接装置悬置在电池透明导电金属氧化物膜，即异质结光伏电池的电极面表面上，通过超声波焊接装置，将导电金属熔化，通过超声波空洞效应将熔化导电金属与所述的电池透明导电金属氧化物膜进行直接焊接；

四、通过超声波焊接装置的超声焊头的连续线性移动，形成和异质结电池导电透明金属氧化物膜直接焊接的电学连接的金属直线带状异质结光伏电池栅线电极；

其中电池栅线电极即为在异质结光伏电池表面的导电透明氧化物膜上焊接分布的连续导电金属合金直线带状物。

2.根据权利要求1所述的一种异质结光伏电池栅线电极制作方法，其特征在于，在第一步和第二步中，N型衬底硅片的一面沉积P+型氢化非晶硅膜，并在其上沉积出一层透明导电氧化物膜作为异质结光伏电池正电极面；在N型衬底硅片的另一面沉积N+型氢化非晶硅膜，并在其上沉积出一层透明导电氧化膜作为异质结光伏电池负电极面。

3.根据权利要求1所述的一种异质结光伏电池栅线电极制作方法，其特征在于，在第三步中，所述的导电金属采用低温焊锡合金，所述的低温焊锡合金为熔化温度低于200度的焊锡合金。

4.根据权利要求1所述的一种异质结光伏电池栅线电极制作方法，其特征在于，所述电池栅线电极的宽度由焊接装置的焊头宽度决定，其厚度由供给焊锡合金量的大小决定。

5.根据权利要求1所述的一种异质结光伏电池栅线电极制作方法，其特征在于，在第三步中，将所述的导电金属放在电池表面的透明导电金属氧化膜上预定栅线电极的位置上，再用焊接装置直接静压在所述的电池透明导电金属氧化膜上，通过焊接装置的超声波将高频振动能量转成摩擦生热效应，直接将所述的导电金属和电池导电透明金属氧化物膜接触面熔化焊接并电学连接，形成电池栅线电极。

6.根据权利要求5所述的一种异质结光伏电池栅线电极制作方法，其特征在于，所述的导电金属采用金属焊带，其金属截面为圆形、正方形、长方形或梯形。

7.根据权利要求6所述的一种异质结光伏电池栅线电极制作方法，其特征在于，所述的金属焊带表面镀低温焊锡合金。

8.根据权利要求1所述的一种异质结光伏电池栅线电极制作方法，其特征在于，每个异质结光伏电池至少有一条连续的焊锡合金导电金属的正栅线电极，和一条连续焊锡合金导电金属的负栅线电极；在同一异质结电池电极表面的金属栅线电极之间，栅线电极相互平行，并且宽度尺寸保持一致。

9.根据权利要求1所述的一种异质结光伏电池栅线电极制作方法，其特征在于，在第三步中，所述的焊接装置采用超声波焊接装置，其包括调频装置、转换器、调压装置和焊头；首先所述的调频装置将低电频能转化成高频电能，供给所述的转换器，所述的转换器将电能转换成用于超声波的高频机械振动能，所述的调压装置将转变后的机械能传至所述的超声波焊头。

10.根据权利要求1所述的一种异质结光伏电池栅线电极制作方法，其特征在于，在第二步中，异质结光伏电池表面的导电透明金属氧化物膜是在异质结光伏电池硅片沉积完非晶硅薄膜之后，通过物理化学气相沉积的磁控溅射工艺或者反应等离子体沉积镀膜工艺，制成的透明导电金属氧化物膜，其收集载流子并向电池表面的栅线电极传输。