[发明专利]一种精密准分子激光镜片打标设备

权利要求书

1.一种精密准分子激光镜片打标设备，其特征在于，包括有：底座、第一滑移组件、第二滑移组件、夹持件、激光组件以及控制组件；

所述底座的顶部开设有纵向平行设置的两个移动槽；所述第一滑移组件包括有两个水平设置的第一导轨、第一滑板、第一螺母以及水平设置的第一丝杆升降机，所述第一丝杆升降机水平固定于所述第一滑板的前端面上，所述第一螺母套设于所述第一丝杆升降的丝杆端；所述第一滑板的底部设置有两个移动块，两个所述移动块分别填充于两个所述移动槽内；

所述第二滑移组件包括有两个竖直设置的第二导轨、第二滑板、第二螺母、安装架以及竖直设置的第二丝杆升降机，所述第二滑板的后壁与所述第一螺母固定连接，两个所述第二导轨竖直设置于所述第二滑板的前端面，所述第二螺母与所述安装架固定连接，所述夹持件与所述安装架可拆卸地固定连接；所述夹持件用于安装待加工镜片，所述第二螺母套设于所述第二丝杆升降机的丝杆端；

所述激光组件包括有准分子激光器、准分子激光能量在线检测模块、激光扩束准直镜、光学聚焦镜以及掩模板；所述准分子激光能量在线检测模块、所述激光扩束准直镜、所述光学聚焦镜、所述掩模板依次设置；所述准分子激光能量在线检测模块与所述控制组件电信号连接，所述待加工镜片表面设置有膜层；

所述控制组件为用于控制所述准分子激光器的准分子激光控制系统。

2.如权利要求1所述的一种精密准分子激光镜片打标设备，其特征在于：

所述安装架竖直开设有用于安装所述夹持件的安装通道，所述夹持件可拆卸地固定于所述安装通道上。

3.如权利要求1所述的一种精密准分子激光镜片打标设备，其特征在于：

所述安装架为T型，所述安装架的两端分别开设有滑槽，两个所述滑槽与所述第二导轨滑动配合。

4.如权利要求1所述的一种精密准分子激光镜片打标设备，其特征在于：

所述第二丝杆升降的顶部固定有位移传感器。

5.如权利要求1所述的一种精密准分子激光镜片打标设备，其特征在于：

所述待加工镜片的表面可设置为多层镀膜层。

6.如权利要求1所述的一种精密准分子激光镜片打标设备，其特征在于：

所述准分子激光器发出的激光波长为308nm。

7.如权利要求1所述的一种精密准分子激光镜片打标设备，其特征在于：

所述准分子激光器发出的激光波长为248nm。

8.如权利要求1所述的一种精密准分子激光镜片打标设备，其特征在于：

所述准分子激光器发出的激光波长为193nm。

9.如权利要求5所述的一种精密准分子激光镜片打标设备，其特征在于：

所述膜层为防蓝光膜或偏光膜。

10.如权利要求5所述的一种精密准分子激光镜片打标设备，其特征在于：

所述膜层为多层强化膜。