[发明专利]一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺

权利要求书

1.一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：

氢还原处理：选用镍粉和铬粉放入推板窑炉中进行氢还原处理，镍粉与铬粉重量份数之比为3～4:1～2，氢气纯度为99.999%，还原温度为1100～1300℃，还原时间为4～6小时；

靶材材料混合：将氢还原处理后的镍粉和铬粉使用V型混料机进行混料，混料过程使V型混料机内保持氩气气氛，混料时间为30分钟，制得混合金属粉料；

热喷涂：在氩气保护气氛内，采用等离子热喷涂的方式将混合金属粉料喷涂于衬管侧壁上，混合金属粉料在衬管侧壁上形成一层靶管，制得管靶胚体；

精加工：对管靶胚体进行精密机械加工，获得最终管靶。

2.根据权利要求1所述的一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺，其特征在于，所述混合金属粉料参与热喷涂之前进行氢还原处理。

3.根据权利要求1或2所述的一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺，其特征在于，所述V型混料机包括机架（1），所述机架（1）上固定连接有通气装置（2），所述通气装置（2）上转动连接有V型混料筒（3），所述通气装置（2）与混料筒（3）内连通，所述通气装置（2）一端将氩气导入混料筒（3）内，所述通气装置（2）另一端将混料筒（3）内气体导出，所述混料筒（3）转动轴线水平设置，所述混料筒（3）上固定连接有出料管（32），所述出料管（32）上可拆卸连接有端盖（33），所述混料筒（3）上固定连接有通气管（4），所述通气管（4）通过启闭装置（5）与混料筒（3）连通，所述启闭装置（5）控制通气管（4）向混料筒（3）内吹气，所述通气管（4）与通气装置（2）连通，所述机架（1）上设置有驱动混料筒（3）转动的驱动装置（6）。

4.根据权利要求3所述的一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺，其特征在于，所述通气装置（2）包括固定连接于机架（1）上的进气管（22）和出气管（23），所述进气管（22）与出气管（23）同轴设置，所述进气管（22）朝向出气管（23）一端伸入混料筒（3）内，所述出气管（23）朝向进气管（22）一端伸入混料筒（3）内，所述进气管（22）侧壁开设有进气口（221），所述出气管（23）侧壁开设有出气口（231），所述进气口（221）与出气口（231）均位于混料筒（3）内，所述出气口（231）处固定连接有过滤铌粉的过滤机构（24）。

5.根据权利要求3所述的一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺，其特征在于，所述混料筒（3）包括两个筒体（31），所述筒体（31）一端向靠近另一筒体（31）方向倾斜设置，两筒体（31）固定连接形成V型筒，两筒体（31）连接端为混料筒（3）出料端，所述出料管（32）固定连接于出料端，两筒体（31）背离出料端一端为混料筒（3）进气端，所述混料筒（3）两个进气端均设置有启闭装置（5），所述启闭装置（5）控制通气管（4）从混料筒（3）进气端向混料筒（3）内吹气。

6.根据权利要求5所述的一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺，其特征在于，所述启闭装置（5）包括固定连接于混料筒（3）进气端的导气管（51），所述导气管（51）与其所在筒体（31）同轴设置，所述导气管（51）背离筒体（31）一端通过球阀（52）与通气管（4）连通，所述通气管（4）上设置有用于控制通气管（4）通气的球阀（52）。

7.根据权利要求4所述的一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺，其特征在于，所述通气管（4）一端通过第一连接机构（7）与进气管（22）转动连接且连通，所述第一连接机构（7）包括同轴固定连接于进气管（22）上的第一连接管（71），所述第一连接管（71）上同轴转动连接有第二连接管（73），所述第一连接管（71）侧壁开设有通孔（711），所述通孔（711）穿过进气管（22）侧壁，所述通气管（4）一端固定连接于第二连接管（73）侧壁并通过通孔（711）与进气管（22）内连通。