[发明专利]一种超薄掩膜版及其加工方法

说明书

本发明涉及超薄掩膜版技术领域，且公开了一种超薄掩膜版，包括第一L型防护板，所述第一L型防护板的内侧开设有放置槽，所述放置槽的内腔活动连接有超薄掩膜版本体。该超薄掩膜版及其加工方法，通过超薄掩膜版本体的外侧分别设有第一L型防护板和第二L型防护板，由于第一L型防护板的形状特点和第二L型防护板的形状特点，便于对超薄掩膜版本体的四侧进行防护，通过第一L型防护板和第二L型防护板之间利用第一伸缩杆、挡板和第一弹簧连接，便于将第二L型防护板的一侧卡在第一L型防护板的后侧上，使得第二L型防护板在不受外力的情况下第二L型防护板能够与第一L型防护板连接，提高了对超薄掩膜版本体四侧防护的稳定性。

技术领域

本发明涉及超薄掩膜版技术领域，具体为一种超薄掩膜版及其加工方法。

背景技术

超薄掩膜版业内又称光掩模版、掩膜版，材质：石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为：曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。

现有的超薄掩膜版台面上面只有四个固定销，放置超薄掩膜版时不能直接固定，要通过移动才能到达正确位置，这样超薄掩膜版移动的时候超薄掩膜版的四侧就会产生很多刮擦发生，造成制品露光不良，品质问题，导致再作业的浪费了时间，增加了成本，因此非常有必要在超薄掩膜版台面上面增加两个固定销，放置掩膜版时阻止了移动的，并且必须通过垂直放置才可以使掩膜版放置在正确的位置，

同时，现有的超薄掩膜版的表面容易沾染灰尘，现有的处理方法，大多是工作人员拿着毛巾对超薄掩膜版进行清理，十分麻烦，容易出现清理不干净不彻底的情况。

发明内容

（一）解决的技术问题

本发明提供了一种超薄掩膜版及其加工方法，具备便于对超薄掩膜版的四侧进行保护、避免了超薄掩膜版在移动时受到损坏、同时也便于对超薄掩膜版上的灰尘进行清理的优点，解决了上述背景技术中所提到的问题。

（二）技术方案

本发明提供如下技术方案：一种超薄掩膜版，包括第一L型防护板，所述第一L型防护板的内侧开设有放置槽，所述放置槽的内腔活动连接有超薄掩膜版本体，所述第一L型防护板后侧的一侧通过轴活动套接有第二L型防护板，所述第二L型防护板一侧的前侧固定安装有手柄，所述放置槽内腔的一侧开设有收纳槽，所述收纳槽内腔的前侧固定安装有第一伸缩杆，所述第一伸缩杆的后端固定安装有位于第二L型防护板一侧的挡板，所述第一伸缩杆的外侧活动套接有第一弹簧，所述第一弹簧的两端分别固定安装在收纳槽内腔的前侧和挡板的前侧上。

优选的，所述第一L型防护板一侧的上下侧均开设有移动槽，所述移动槽的内腔活动套接有移动板，所述移动板的顶部固定安装有连接板，所述连接板的底部固定安装有第二伸缩杆，所述第二伸缩杆的底部固定安装有灰尘擦板，所述第二伸缩杆的外侧活动套接有第二弹簧，所述第二弹簧的两端分别固定安装在连接板的底部和灰尘擦板的顶部上，所述灰尘擦板的长度大小与超薄掩膜版本体的宽度大小相等，通过第一L型防护板1的上下侧均设有连接板12、第二弹簧15、第二伸缩杆13和灰尘擦板14，通过拉动移动板11使其在移动槽10的内腔里移动，从而带动灰尘擦板14在超薄掩膜版本体3的顶部移动，便于将超薄掩膜版本体3顶部上的灰尘清理掉，由于超薄掩膜版本体3的上下侧均设有灰尘擦板14，可对超薄掩膜版本体3的上下侧均可清理灰尘，通过灰尘擦板14的长度大小与超薄掩膜版本体3的宽度大小相等，使得灰尘擦板14完全能够将超薄掩膜版本体3上下侧的灰尘清理干净。

优选的，所述移动板的整体呈T字形状，所述移动槽内腔的剖面整体呈T字形状，通过移动板11的整体呈T字形状，移动槽10内腔的剖面整体呈T字形状，使得移动板11能够在移动槽10的内腔里移动，且不会从移动槽10的内腔里掉落，方便使用者使用移动板11。