[发明专利]控制大尺寸全固态电致变色器件着色的工艺方法

说明书

本发明公开了一种控制大尺寸全固态电致变色器件着色的工艺方法，所述电致变色器件包括第一透明导电层和第二透明导电层，利用磁控溅射工艺在基板上镀第一透明导电层和第二透明导电层时，沿着第一透明导电层的阳极到阴极方向，所使用的氧气分压梯度逐渐减少，沿着第二透明导电层的阳极到阴极方向，说是使用的氧气分压梯度逐渐增加。

技术领域

本发明涉及电致变色技术领域，具体涉及一种控制大尺寸全固态电致变色器件着色的工艺方法。

背景技术

全固态电致变色器件的结构如图1所示，是由大约5层功能膜层组成的三明治结构，其中TCO-1、TCO-2为透明导电层，EC为电致变色层，CE为反向电致变色层。当电压加载在两个透明导电层电极之间时，电致变色器件开始着色或则褪色。

由于全固态电致变色器件的透明导电层存在一定的电导率，必然导致在运行过程中，由于电流的流入而产生相对应的压降，该压降在大尺寸EC器件中尤其明显。大尺寸的电致变色器件由于透明导电层运行中的压降，导致实际加载在器件中间部分的电压要远远小于加载在器件边缘更靠近银浆汇流条的电压，从而导致器件先从银浆汇流条两边开始着色，然后逐渐慢慢向器件中央变色，从而实现整体变色的过程，该变色过程和现象被称为“窗帘效应”。

电池变色器件的尺寸标注如图2所示，其宽度与两条银浆汇流条之间的距离相等，均为W，其长度为L。该EC器件的变色速度由其宽度决定，宽度数值越大，中心区域器件的电压约小，着色深度越浅。

如图3所示，越接近阳极，其电势越高；而越接近阴极，其电势越低；加载在器件上不同位置的实际电压Veff由两个透明导电层的电势差决定。

如图4所示，电致变色器件两端实际电压最高，而中间实际电压最低，合理解释了大尺寸电致变色着色过程中的窗帘效应，以及大尺寸玻璃着色更难，更慢，更不均匀的问题。距离两端越近，由于汇聚流过的电流更多和欧姆效应，导致电压下降速度越快，即电势曲线斜率越大。

本发明提供一种工艺方法，使得电致变色器件的变色时间更快更均匀，减少大尺寸电致变色器件中的“窗帘效应”。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种控制大尺寸全固态电致变色器件着色的工艺方法。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种控制大尺寸全固态电致变色器件着色的工艺方法，所述电致变色器件包括第一透明导电层和第二透明导电层；

利用磁控溅射工艺在基板上镀第一透明导电层和第二透明导电层时，沿着第一透明导电层的阳极到阴极方向，所使用的氧气分压梯度逐渐减少，沿着第二透明导电层的阳极到阴极方向，说是使用的氧气分压梯度逐渐增加。

具体地，磁控溅射工艺需要将靶材溅射到基板上，通过布气管将氧气输送至靶材处，所述布气管上开设有气孔；沿着布气管的一端至另外一端，所述气孔的孔径以等差数列的形式进行变化。

与现有技术相比，本发明的有益技术效果是：

通过调整氧气分布来调节透明导电层的导电率分布，从而实现电致变色器件整体区域、尤其是中间区域有效加载电压的明显提高。

附图说明

图1为电致变色器件的结构示意图；

图2为现有技术中电致变色器件变色不均匀的示意图；

图3为现有技术电致变色器件中两个透明导电层的电势随宽度位置的变化趋势图；

图4为现有技术中加载在电致变色器件上实际电压相对银浆汇流条位置的变化趋势图；

图5为本发明第一透明导电层镀膜时布气管的示意图；

图6为本发明第一透明导电层和第二透明导电层的导电率分布示意图；