[发明专利]一种工业化学机械研磨设备

权利要求书

1.一种工业化学机械研磨设备，其结构包括引导架(1)、操作台(2)、研磨机构(3)、升降板(4)，所述引导架(1)与操作台(2)的上端相焊接，所述升降板(4)与引导架(1)活动卡合，其特征在于：所述研磨机构(3)固定于升降板(4)的底部位置；

所述研磨机构(3)包括外框(31)、下滑板(32)、研磨盘(33)、助推条(34)，所述下滑板(32)与外框(31)的内部滑动配合，所述研磨盘(33)焊接于下滑板(32)的底部位置，所述助推条(34)安装于外框(31)的内壁上端与下滑板(32)的顶部位置。

2.根据权利要求1所述的一种工业化学机械研磨设备，其特征在于：所述研磨盘(33)包括上接板(a1)、固定杆(a2)、下伸杆(a3)、板体(a4)、回扯条(a5)，所述固定杆(a2)固定于板体(a4)的内壁上端位置，所述下伸杆(a3)与固定杆(a2)的内部活动卡合，所述板体(a4)的上表面与上接板(a1)的底部嵌固连接，所述回扯条(a5)安装于固定杆(a2)的内壁与下伸杆(a3)之间。

3.根据权利要求2所述的一种工业化学机械研磨设备，其特征在于：所述下伸杆(a3)包括转动辊(a31)、下推板(a32)、外挤腔(a33)、上固板(a34)，所述转动辊(a31)安装于外挤腔(a33)的内部位置，所述外挤腔(a33)固定于上固板(a34)的底部与下推板(a32)的上表面之间。

4.根据权利要求3所述的一种工业化学机械研磨设备，其特征在于：所述转动辊(a31)包括叶片(b1)、阻挡面(b2)、转动块(b3)，所述叶片(b1)嵌固于转动块(b3)的外侧位置，所述阻挡面(b2)的内侧与转动块(b3)的外表面相贴合。

5.根据权利要求3所述的一种工业化学机械研磨设备，其特征在于：所述下推板(a32)包括振动块(c1)、结合板(c2)、碾压机构(c3)，所述振动块(c1)安装于结合板(c2)的内部位置，所述碾压机构(c3)嵌入于结合板(c2)的内部位置。

6.根据权利要求5所述的一种工业化学机械研磨设备，其特征在于：所述碾压机构(c3)包括弹力条(c31)、下滑杆(c32)、下置框(c33)、框架(c34)，所述弹力条(c31)固定于框架(c34)的内壁上端与下滑杆(c32)的顶部位置，所述下滑杆(c32)与框架(c34)的内部中心滑动配合，所述下置框(c33)的上表面与框架(c34)的底部相贴合。

7.根据权利要求6所述的一种工业化学机械研磨设备，其特征在于：所述下滑杆(c32)包括中位杆(d1)、回扯条(d2)、下摆板(d3)，所述回扯条(d2)安装于下摆板(d3)的内侧与中位杆(d1)的内壁之间，所述下摆板(d3)与中位杆(d1)的底部铰链连接。