[发明专利]半导体存储装置在审

专利信息
申请号: 202110164059.4 申请日: 2021-02-05
公开(公告)号: CN113690241A 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 刈谷奈由太;津田宗幸 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: H01L27/11519 分类号: H01L27/11519;H01L27/11524;H01L27/11556;H01L27/11565;H01L27/1157;H01L27/11582
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 杨林勳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 存储 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体存储装置,具备:

多个第1导电层,排列在第1方向上;

多个第2导电层,在与所述第1方向交叉的第2方向上与所述多个第1导电层相隔而配置,且排列在所述第1方向上;

半导体层,设置在所述多个第1导电层与所述多个第2导电层之间,沿所述第1方向延伸,且与所述多个第1导电层及所述多个第2导电层对向;以及

电荷蓄积层,具备设置在所述多个第1导电层与所述半导体层之间的第1部分及设置在所述多个第2导电层与所述半导体层之间的第2部分;

所述半导体存储装置构成为能够执行第1写入动作与第2写入动作,

所述第1写入动作对作为所述多个第1导电层其中一个的第3导电层供给第1编程电压,对作为所述多个第1导电层其中一个的第4导电层供给小于所述第1编程电压的写入通路电压,

所述第2写入动作对所述第3导电层供给大于所述写入通路电压的第2编程电压,对所述第4导电层供给所述第2编程电压。

2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中

在所述第1写入动作中,对为所述多个第1导电层其中一个且在所述第1方向上与所述第3导电层相邻的第5导电层供给所述写入通路电压,

在所述第2写入动作中,对所述第5导电层供给所述第2编程电压。

3.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中

在所述第1写入动作中,对为所述多个第1导电层其中一个且在所述第1方向上与所述第3导电层相邻的第5导电层供给所述写入通路电压,

在所述第2写入动作中,对所述第5导电层供给所述写入通路电压。

4.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中

在所述第1写入动作中,对作为所述多个第2导电层其中一个的第6导电层供给所述写入通路电压,

在所述第2写入动作中,对所述第6导电层供给所述第2编程电压。

5.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中

在所述第1写入动作中,对作为所述多个第2导电层其中一个的第6导电层供给所述写入通路电压,

在所述第2写入动作中,对所述第6导电层供给所述写入通路电压或小于所述写入通路电压的电压。

6.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其

具备电连接于所述半导体层的第1配线,且

构成为能够执行抹除动作,所述抹除动作是对所述第1配线供给大于所述写入通路电压的抹除电压,对所述第3导电层及所述第4导电层供给小于所述抹除电压的第1电压,

且构成为能够执行包含所述第2写入动作及所述抹除动作的第1序列。

7.根据权利要求6所述的半导体存储装置,其

构成为能够执行第1读出动作及第2读出动作,

在所述第1读出动作中,

对所述第3导电层供给第1读出电压,

对所述第4导电层供给大于所述第1读出电压的读出通路电压,

对为所述多个第1导电层其中一个且在所述第1方向上与所述第3导电层相邻的第5导电层供给所述读出通路电压,

在所述第2读出动作中,

对所述第3导电层供给小于所述读出通路电压的第2读出电压,

对所述第4导电层供给所述读出通路电压,

对所述第5导电层供给所述第2读出电压,

所述第1序列包含所述第2读出动作。

8.根据权利要求7所述的半导体存储装置,其中

在所述第1读出动作中,对作为所述多个第2导电层其中一个的第6导电层供给小于所述第1读出电压及所述第2读出电压的读出遮断电压,

在所述第2读出动作中,对所述第6导电层供给所述读出遮断电压。

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