[发明专利]半导体存储装置在审
申请号: | 202110164059.4 | 申请日: | 2021-02-05 |
公开(公告)号: | CN113690241A | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 刈谷奈由太;津田宗幸 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/11519 | 分类号: | H01L27/11519;H01L27/11524;H01L27/11556;H01L27/11565;H01L27/1157;H01L27/11582 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 杨林勳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 存储 装置 | ||
1.一种半导体存储装置,具备:
多个第1导电层,排列在第1方向上;
多个第2导电层,在与所述第1方向交叉的第2方向上与所述多个第1导电层相隔而配置,且排列在所述第1方向上;
半导体层,设置在所述多个第1导电层与所述多个第2导电层之间,沿所述第1方向延伸,且与所述多个第1导电层及所述多个第2导电层对向;以及
电荷蓄积层,具备设置在所述多个第1导电层与所述半导体层之间的第1部分及设置在所述多个第2导电层与所述半导体层之间的第2部分;
所述半导体存储装置构成为能够执行第1写入动作与第2写入动作,
所述第1写入动作对作为所述多个第1导电层其中一个的第3导电层供给第1编程电压,对作为所述多个第1导电层其中一个的第4导电层供给小于所述第1编程电压的写入通路电压,
所述第2写入动作对所述第3导电层供给大于所述写入通路电压的第2编程电压,对所述第4导电层供给所述第2编程电压。
2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中
在所述第1写入动作中,对为所述多个第1导电层其中一个且在所述第1方向上与所述第3导电层相邻的第5导电层供给所述写入通路电压,
在所述第2写入动作中,对所述第5导电层供给所述第2编程电压。
3.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中
在所述第1写入动作中,对为所述多个第1导电层其中一个且在所述第1方向上与所述第3导电层相邻的第5导电层供给所述写入通路电压,
在所述第2写入动作中,对所述第5导电层供给所述写入通路电压。
4.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中
在所述第1写入动作中,对作为所述多个第2导电层其中一个的第6导电层供给所述写入通路电压,
在所述第2写入动作中,对所述第6导电层供给所述第2编程电压。
5.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中
在所述第1写入动作中,对作为所述多个第2导电层其中一个的第6导电层供给所述写入通路电压,
在所述第2写入动作中,对所述第6导电层供给所述写入通路电压或小于所述写入通路电压的电压。
6.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其
具备电连接于所述半导体层的第1配线,且
构成为能够执行抹除动作,所述抹除动作是对所述第1配线供给大于所述写入通路电压的抹除电压,对所述第3导电层及所述第4导电层供给小于所述抹除电压的第1电压,
且构成为能够执行包含所述第2写入动作及所述抹除动作的第1序列。
7.根据权利要求6所述的半导体存储装置,其
构成为能够执行第1读出动作及第2读出动作,
在所述第1读出动作中,
对所述第3导电层供给第1读出电压,
对所述第4导电层供给大于所述第1读出电压的读出通路电压,
对为所述多个第1导电层其中一个且在所述第1方向上与所述第3导电层相邻的第5导电层供给所述读出通路电压,
在所述第2读出动作中,
对所述第3导电层供给小于所述读出通路电压的第2读出电压,
对所述第4导电层供给所述读出通路电压,
对所述第5导电层供给所述第2读出电压,
所述第1序列包含所述第2读出动作。
8.根据权利要求7所述的半导体存储装置,其中
在所述第1读出动作中,对作为所述多个第2导电层其中一个的第6导电层供给小于所述第1读出电压及所述第2读出电压的读出遮断电压,
在所述第2读出动作中,对所述第6导电层供给所述读出遮断电压。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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