[发明专利]一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机

权利要求书

1.一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，所述镀膜机包括镀膜室(1)和用于支承镀膜室的机架(10)，所述镀膜室内围绕水平的冷却辊周围对称设置有轴线平行于冷却辊的多组孪生靶，其特征在于：所述多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板(2)上，多组孪生靶的另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道(35)上并可沿轨道移动，固定板(2)的下端两侧设置有轨道轮组件，轨道轮组件滑动支承在镀膜室(1)外的机架(10)的轨道(9)上。

2.根据权利要求1所述的一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板(2)上，多组孪生靶的另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道(35)上的结构为：

所述每组孪生靶的一端可绕自身轴线回转地通过一绝缘固连的阴极旋转座(12)支承于固定板(2)、另一端则通过一阴极尾端支撑板(18)可回转地支承于一平行于孪生靶轴线的阴极支撑座(11)的尾端，阴极支撑座(11)的首端则固定于阴极旋转座(12)上、尾端则通过旋转固定板(13)固定有水平的尾端旋转轴(14)的一端，尾端旋转轴(14)的另一端可回转地支承在一尾端支撑座(15)上，尾端支撑座(15)吊在或支承在一平行于孪生靶轴向的炉体内轨道(35)上，尾端旋转轴(14)与阴极旋转座(12)中心同轴线，阴极旋转座(12)上的阴极孪生靶和阴极支撑座(11)绕此同轴线一起转动。

3.根据权利要求2所述的一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的每组孪生靶的一端通过一阴极旋转座(12)支承于固定板(2)的结构为：

所述固定板(2)上开有大圆孔，大圆孔内通过滚珠(16)支承有短管状连接件(12-2)，短管状连接件(12-2)的外端面固连有大齿轮、内端面焊接有竖板状的阴极旋转座(12)，每组孪生靶绝缘固连在阴极旋转座(12)上，孪生靶的靶头穿过阴极旋转座(12)上的短管状连件(12-2)管孔伸出外侧，固定板(2)的外侧还固设有旋转电机(5)，其设有小齿轮(33)与大齿轮(3)啮合，阴极旋转座(12)朝向镀膜室的一面开有密封圈槽(12-1)装有密封圈。

4.根据权利要求3所述的一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的尾端支撑座(15)吊在一平行于孪生靶轴向的炉体内轨道(35)上的结构为：

炉体内轨道(35)为在一块竖板的两面靠近底边处，对应地开有两条水平凹槽，尾端支撑座(15)的上端开有切口，切口的内侧对应地设有两个向内伸出的水平轴滚轮(15-1)可行走在水平凹槽内起到吊起的功能，水平轴滚轮(15-1)的下方，通过导向座(17)设有两个垂直轴滚轮(17-1)可行走在竖板底边的两面，尾端支撑座(15)的下端内侧横向开设有盲孔，通过轴承可回转地支承着所述尾端旋转轴(14)。

5.根据权利要求4所述的一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的旋转电机(5)固定在一旋转电机固定板(34)的外侧，旋转电机固定板(34)内侧前后左右对称固定连接有四个旋转电机固定柱(32)，以连接件穿过旋转电机固定板(34)及固定柱(32)的通孔后固定连接在固定板(2)上，旋转电机(5)的旋转电机轴(29)贯穿所述旋转电机固定板(34)并可回转地支承在固定板(2)上的小圆孔内，小齿轮(33)通过平键固定连接在旋转电机轴(29)上位于固定板(2)与旋转电机固定板(34)之间，小齿轮(33)与固定板(2)外侧的大齿轮(3)相互啮合。