[发明专利]流量阀、质量流量控制装置及流量阀开度控制方法

权利要求书

1.一种质量流量控制装置，包括流量阀、流量阀驱动电路及控制器，所述控制器用于向所述流量阀驱动电路提供驱动信号，所述流量阀驱动电路用于根据接收到的所述驱动信号控制所述流量阀的开度，其特征在于，所述流量阀包括阀体、设置在所述阀体内的移动组件和与所述移动组件连接的位移传感器，其中：所述移动组件用于根据接收到的移动信号进行移动，以调节所述流量阀的流量；所述位移传感器用于根据所述移动组件的移动量确定所述流量阀的实际开度信号，并向流量阀开度控制器发送所述实际开度信号；

所述控制器包括气体流量控制器和流量阀开度控制器，所述气体流量控制器与所述流量阀连接，用于根据实时流量值与预设的设定流量值，向所述驱动电路提供实际驱动信号，以调节所述流量阀的开度；

所述流量阀开度控制器与所述流量阀连接，用于：

获取所述气体流量控制器提供给所述流量阀驱动电路的实际驱动信号；

将所述实际驱动信号与给定驱动信号进行对比，其中，所述给定驱动信号是指使所述流量阀达到设定开度的驱动信号；

当所述实际驱动信号与所述给定驱动信号之间的差别超过预定范围时，停止利用所述气体流量控制器向所述流量阀驱动电路提供驱动信号，并利用所述流量阀开度控制器将所述给定驱动信号输出给所述流量阀驱动电路。

2.根据权利要求1所述的质量流量控制装置，其特征在于，所述移动组件与所述阀体组成流体腔，所述流体腔用于容纳流体，所述移动组件用于沿所述阀体的延伸方向移动来调节所述流体腔的大小，以调节所述流量阀的开度。

3.根据权利要求2所述的质量流量控制装置，其特征在于，所述位移传感器包括主体和伸缩触头，所述伸缩触头与所述移动组件接触并与所述移动组件同步直线运动，所述主体用于感应所述伸缩触头的移动位置，以确定所述流量阀的实际开度信号。

4.根据权利要求3所述的质量流量控制装置，其特征在于，所述移动组件包括磁性件，所述伸缩触头与所述磁性件接触；

所述流量阀还包括密封件，所述密封件设置在所述阀体靠近所述移动组件的一端，用于对所述阀体进行密封；

所述伸缩触头穿过所述密封件抵压在所述移动组件靠近所述伸缩触头的端面，且所述伸缩触头与所述密封件之间密封贴合。

5.根据权利要求4所述的质量流量控制装置，其特征在于，所述密封件包括沿所述移动组件的移动方向依次设置的第一密封件和第二密封件，所述第一密封件与所述阀体连接，所述第二密封件与所述第一密封件连接；

所述伸缩触头依次穿过所述第二密封件和所述第一密封件抵压在所述移动组件靠近所述伸缩触头的端面。

6.根据权利要求1-5任一项所述的质量流量控制装置，其特征在于，所述流量阀还包括固定支架，所述固定支架与所述阀体连接，用于对所述位移传感器进行支撑和固定。

7.根据权利要求1-5任意一项所述的质量流量控制装置，其特征在于，所述质量流量控制装置还包括切换选择开关；

所述控制器还用于，生成切换控制信号，并将所述切换控制信号提供给所述切换选择开关，以使得所述气体流量控制器与所述流量阀驱动电路的输入端断开电连接，并使得所述流量阀开度控制器的驱动信号输出端与所述流量阀驱动电路的控制端导通。

8.根据权利要求7所述的质量流量控制装置，其特征在于，所述流量阀开度控制器还用于：

根据压力传感器信号、流量传感器信号及位移传感器信号中的至少一者和预设的设定流量值与预设的设定开度值中的至少一者，计算或者在数据库中查找相应的给定驱动信号；其中，所述压力传感器信号用于表征所述流量阀进气口的压力，所述流量传感器信号用于表征所述流量阀的实际流量，所述位移传感器信号用于表征所述流量阀的实际开度。

9.一种流量阀开度控制方法，应用于权利要求1-8中任意一项所述的质量流量控制装置，其特征在于，所述方法包括：

将实际驱动信号与给定驱动信号进行对比，其中，所述实际驱动信号为所述气体流量控制器向所述流量阀驱动电路提供的驱动信号；所述给定驱动信号为所述流量阀开度控制器确定的驱动信号，将所述给定驱动信号提供给所述流量阀能够使得所述流量阀达到设定开度；

当所述实际驱动信号与所述给定驱动信号之间的差别超过预定范围时，停止利用所述气体流量控制器向所述流量阀驱动电路提供驱动信号，并利用所述流量阀开度控制器将所述给定驱动信号输出给所述流量阀驱动电路。