[发明专利]一种压电单晶层叠驱动器的制备方法

权利要求书

1.一种压电单晶层叠驱动器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，对单晶片依次进行三维定向、切割、减薄、清洗，得到多个单晶薄片；

步骤2，将得到的单晶薄片放置在溅射电极模具中进行溅射电极，得到单晶薄片电极；

步骤3，将得到的单晶薄片电极放置在极化装置中进行电极极化，得到极化后的单晶薄片电极；

步骤4，利用堆叠模具对极化后的单晶薄片电极进行堆叠，得到压电堆；

步骤5，在得到的压电堆的侧面溅射电极，得到层叠驱动器；

步骤2中，所述溅射电极模具包括底盘(1)、单晶卡槽(2)和掩膜板(3)，其中，底盘(1)和掩膜板(3)活动连接；所述单晶卡槽(2)设置有多个，呈阵列式结构布置在底盘(1)和掩膜板(3)形成的空腔内；每个单晶卡槽(2)上放置有一个单晶薄片；

所述掩膜板(3)上开设有多个电极图案，多个电极图案呈矩阵式结构布置，且多个电极图案与多个单晶卡槽的位置一一对应；

步骤3中，所述极化装置包括极化底座(4)、接地极金属底盘(5)、待极化单晶卡槽板(6)和小柱子卡槽板(7)，其中，所述极化底座(4)、接地极金属底盘(5)、待极化单晶卡槽板(6)和小柱子卡槽板(7)自下至上依次布置；所述接地极金属底盘(5)连接电源负极；

所述待极化单晶卡槽板(6)上开设有多个用于放置待极化的单晶薄片电极的卡孔；

所述小柱子卡槽板(7)上开设有多个用于安装小柱子的安装孔；

所述待极化单晶卡槽板(6)的卡孔位置与安装孔的位置一一对应；

多个小柱子之间串联连接，且与电源正极连接；

步骤4中，所述堆叠模具包括固定卡槽(8)、固定底座(9)、施压块(10)和端盖(11)，其中，所述固定底座(9)放置在固定卡槽(8)内，所述极化后的单晶薄片电极放置在固定底座(9)上；

所述施压块(10)用于向粘接好的极化后的单晶薄片电极施加压力，将多余的环氧树脂排出；

所述端盖(11)套装在施压块(10)。

2.根据权利要求1所述的一种压电单晶层叠驱动器的制备方法，其特征在于，步骤1中，三维定向后的单晶片的厚度方向为[011]方向，长度方向为[100]方向，宽度方向选取[0-11]方向。

3.根据权利要求1所述的一种压电单晶层叠驱动器的制备方法，其特征在于，所述固定卡槽(8)为长方体结构，所述长方体结构上的开设有十字卡槽；

所述固定底座(9)为十字形结构；该十字形结构的固定底座(9)卡装在固定卡槽上的十字卡槽内。

4.根据权利要求1所述的一种压电单晶层叠驱动器的制备方法，其特征在于，所述施压块(10)为T型结构；所述端盖(11)上开设有配合孔，所述配合孔套装在T型结构的大端。