[发明专利]一种热式质量流量新型测定装置在审

专利信息
申请号: 202110175535.2 申请日: 2021-02-06
公开(公告)号: CN112964322A 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 张誉琳 申请(专利权)人: 沃威仪器(珠海)有限公司
主分类号: G01F1/86 分类号: G01F1/86
代理公司: 珠海飞拓知识产权代理事务所(普通合伙) 44650 代理人: 陈李青
地址: 519000 广东省珠海市横琴新*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 质量 流量 新型 测定 装置
【说明书】:

发明涉及流量计设备技术领域,具体为一种热式质量流量新型测定装置,所述热式质量流量测定装置的内部设有数字滤波器对等模型,所述数字滤波器对等模型包括多个二阶带通滤波器的组合联通,对于更高阶的滤波器,可以根据要求,对二阶滤波器进行组合,即在软件程序中,先构造多个独立的二阶滤波器,然后在运算中进行组合运算。通过实际验证,数字滤波器很好地拟合了硬件模拟滤波器,并且通过采用软件算法的方式代替传统的硬件模拟的方式,能够很好的避免由于硬件自身的损耗问题导致整形信号的不准确的问题,能够保证信号的滤波整形的效果,精度以及重复性。

技术领域

本发明涉及流量计设备技术领域,具体为一种热式质量流量新型测定装置。

背景技术

热式质量流量计是利用流体流过外热源加热的管道时产生的温度场变化来测量流体质量流量,或利用加热流体时流体温度上升某一值所需的能量与流体质量之间的关系来测量流体质量流量的一种流量仪表,对在半导体,太阳能,工业精密镀膜等制造工艺中供给到腔室内的工艺气体的质量流量进行测定,对在气相色/质谱及环境检测制程中的检测气体的质量流量进行测定,对医疗设备在医疗应用中的过程气体的质量流量进行测定,对各行业工艺制程中所需要的精准气体输送进行测定。

在当前主流的热式质量流量计的设计当中,质量流量传感器的测量和滤波,普遍都是采用模拟运放器件来实现高阶滤波电路,所谓高阶滤波电路就是将流量传感器(传感器管和传感器线)的传感线电阻值经过桥电路变送为电压信号并放大,将放大的信号经过高阶滤波电路处理,形成与实际流通质量流量变动趋势匹配的电压信号,提供给CPU进行人机界面输出,反馈,控制等操作,这一硬件实现方式,导致了诸多制约性能的问题,采用硬件模拟滤波模型实现的高阶段滤波电路过程中,信号的滤波整形的效果,精度以及重复性均取决于滤波整形电路的硬件器件的特性,可靠性和品质,由于器件自身特性由产品批次产生差异时,会影响滤波整形电路的实际效果,且器件在长期运行当中产生不可预期的性能漂移时,将导致滤波整形的效果恶化并最终导致质量流量的测量偏差;且在质量流量计小型化同时还需要支持多种工业控制技术的趋势下,需要在原有的流量控制电路上加入更多复杂功能模块来实现,因此控制电路的效果由于各种元器件的加入,导致最终得到的性能体现会出现更多的不确定性,不能够更好的顺应技术的更新

同时对现有的硬件模拟滤波器实际是特定的带通滤波器,带通滤波器的作用是允许某些频率的输入信号基本无衰减的通过(增益为1,频域0dB),同时对另外某些频率的信号起到抑制衰减作用,而通过对硬件模拟滤波器的原理研究,研判硬件等效为多个二阶带通滤波器的组合联通,为了解决这些问题,本发明提出基于硬件模拟滤波器的模型,研究出数字滤波器对等模型,从而实现计算机程序可应用的设计方式,由此我们提出一种热式质量流量新型测定装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种热式质量流量新型测定装置,以解决上述背景技术中提出的在当前主流的热式质量流量计的设计当中,质量流量传感器的测量和滤波,普遍都是采用模拟运放器件来实现高阶滤波电路,所谓高阶滤波电路就是将流量传感器(传感器管和传感器线)的传感线电阻值经过桥电路变送为电压信号并放大,将放大的信号经过高阶滤波电路处理,形成与实际流通质量流量变动趋势匹配的电压信号,提供给CPU进行人机界面输出,反馈,控制等操作,这一硬件实现方式,导致了诸多制约性能的问题,采用硬件模拟滤波模型实现的高阶段滤波电路过程中,信号的滤波整形的效果,精度以及重复性均取决于滤波整形电路的硬件器件的特性,可靠性和品质,由于器件自身特性由产品批次产生差异时,会影响滤波整形电路的实际效果,且器件在长期运行当中产生不可预期的性能漂移时,将导致滤波整形的效果恶化并最终导致质量流量的测量偏差;且在质量流量计小型化同时还需要支持多种工业控制技术的趋势下,需要在原有的流量控制电路上加入更多复杂功能模块来实现,因此控制电路的效果由于各种元器件的加入,导致最终得到的性能体现会出现更多的不确定性,不能够更好的顺应技术的更新的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种热式质量流量新型测定装置,所述热式质量流量测定装置的内部设有数字滤波器对等模型,所述数字滤波器对等模型包括多个二阶带通滤波器的组合联通,程序运算过程如下:

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