[发明专利]一种离轴式MEMS微镜及其制备方法

权利要求书

1.一种离轴式MEMS微镜，其特征在于，包括第一微镜、第二微镜、第一固定梳齿、第二固定梳齿、驱动电极和边框，所述第一微镜和第二微镜分别通过两个对称的转轴连接所述边框的第一内侧，每组转轴位于各自微镜的中轴线，所述第一微镜和第二微镜以转轴为轴同步转动，所述第一微镜用于入射激光的扫描反射，所述第二微镜用于同步接收经过待测物的反射激光；所述第一固定梳齿和第二固定梳齿分别位于所述边框的第二内侧，所述驱动电极位于所述边框上，为所述离轴式MEMS微镜提供驱动电压，所述第一微镜的第一动梳齿Ⅰ与所述第一固定梳齿形成第一垂直梳齿对，所述第二固定梳齿与所述第二微镜的第二动梳齿Ⅱ形成第二垂直梳齿对，所述第一垂直梳齿对和第二垂直梳齿对分别为所述第一微镜和第二微镜提供顺时针方向偏转的驱动力，所述第一微镜的第二动梳齿Ⅰ与所述第二微镜的第一动梳齿Ⅱ形成第三垂直梳齿对，为所述第一微镜和第二微镜提供逆时针方向偏转的驱动力，实现所述离轴式MEMS微镜对激光的同步收发。

2.根据权利要求1所述的离轴式MEMS微镜，其特征在于，所述驱动电极包括第一电极对和第二电极对，均位于所述边框的同一第一内侧上，所述第一电极对包括第一电极Ⅰ和第一电极Ⅱ，所述第一电极Ⅰ作为正电极连接所述第一固定梳齿，所述第一电极Ⅱ作为负电极连接所述第二微镜，用于提供固定电压；所述第二电极对包括第二电极Ⅰ和第二电极Ⅱ，所述第二电极Ⅰ和第二电极Ⅱ之间连接交流方波驱动电压，用于提供交流电压，方波驱动频率为所述第一微镜和第二微镜的扫描频率，所述第二电极Ⅰ连接所述第一微镜，所述第二电极Ⅱ连接所述第二固定梳齿，所述第二电极Ⅰ和第二电极Ⅱ的电势随方波周期交替变化。

3.根据权利要求2所述的离轴式MEMS微镜，其特征在于，在一个方波周期内，当处于前一半方波周期时，所述第二电极Ⅰ为正电势、第二电极Ⅱ为零电势，则所述第一垂直梳齿对均为相同高电势，电势差为零，所述第二垂直梳齿对均为零电势，所述第三垂直梳齿对存在电势差，梳齿相互吸引，所述第一微镜和第二微镜逆时针方向偏转；当处于后一半方波周期时，所述第二电极Ⅰ为零电势、第二电极Ⅱ为正电势，则所述第三垂直梳齿对均为零电势，所述第一垂直梳齿对、第二垂直梳齿对均存在电势差，梳齿相互吸引，所述第一微镜和第二微镜同步顺时针方向偏转。

4.根据权利要求3所述的离轴式MEMS微镜，其特征在于，所述边框的第一内侧上还设有六个对称分布的隔离槽，且两两共轴设置作为一组隔离槽，第一组隔离槽位于所述第一电极Ⅰ和第二电极Ⅰ之间，第二组隔离槽位于所述第二电极Ⅰ和第一电极Ⅱ之间，具体的，位于第三垂直梳齿对的中轴线上，第三组隔离槽位于所述第一电极Ⅱ和第二电极Ⅱ之间，所述隔离槽用于隔离相邻电极间的电势。