[发明专利]光干涉测量装置

权利要求书

1.一种光干涉测量装置，其特征在于，具有：

第1光源，其输出具有红外区域的波长的测量光；

第2光源，其输出具有可见区域的波长的引导光；

光纤耦合器，其至少具有输入所述测量光的第1端口、输入所述引导光的第2端口以及输出所述测量光和所述引导光耦合得到的耦合光的第3端口；

测量部，其向测量对象照射所述耦合光，接收由所述测量对象反射的返回光；以及

处理部，其根据所述返回光和参照光的干涉信号，计算与所述测量对象的距离、速度或振动有关的信息，

所述光纤耦合器由截止波长比所述测量光的波长短并且比所述引导光的波长长的单模光纤构成。

2.根据权利要求1所述的光干涉测量装置，其特征在于，

所述光纤耦合器的从所述第1端口到所述第3端口的路径的耦合比为50％以上。

3.根据权利要求1或2所述的光干涉测量装置，其特征在于，

所述第1光源是波长扫描光源。

4.根据权利要求1或2所述的光干涉测量装置，其特征在于，

所述引导光是红色光。

5.根据权利要求1或2所述的光干涉测量装置，其特征在于，

所述测量部具有校正了色像差的光学系统。

6.根据权利要求1或2所述的光干涉测量装置，其特征在于，

所述参照光是所述耦合光的一部分被设置在所述光纤耦合器的所述第3端口与所述测量部之间的光路上的参照面反射的光。

7.根据权利要求6所述的光干涉测量装置，其特征在于，

所述参照面是与所述测量部连接的光纤的端面。

8.根据权利要求1或2所述的光干涉测量装置，其特征在于，

所述参照光是利用设置在所述第1光源与所述光纤耦合器的所述第1端口之间的光路上的分支器分支出所述测量光的一部分的光。

9.根据权利要求1或2所述的光干涉测量装置，其特征在于，

所述参照光是利用设置在所述光纤耦合器的所述第3端口与所述测量部之间的光路上的分支器分支出所述耦合光的一部分的光。

10.根据权利要求1或2所述的光干涉测量装置，其特征在于，

所述光纤耦合器还具有输出所述耦合光的第4端口，所述参照光是从所述第4端口输出的光。