[发明专利]半导体晶圆盒仓储运输结构系统

权利要求书

1.一种半导体晶圆盒仓储运输结构系统，其特征在于，包括有晶圆盒升降运输结构体、晶圆盒储架结构体、手臂结构体、手臂抓取晶圆盒结构体及晶圆盒仓储结构体所组成，其中，

-晶圆盒升降运输结构体，系呈长方体梯状结构，主要系由升降结构架、定位装置、滚轮运送装置所组成，升降结构架系由数根支撑杆所组装成的长方框升降结构架，其中一支撑杆的侧端面装设数个定位装置，作为顶住晶圆盒的左侧翼，而晶圆盒系放置滚轮运送装置的上方，利用机器人在入、出料口处搬送晶圆盒，利用滚轮运送装置输送至升降结构架，依入料方向利用滚轮运送装置运送晶圆盒，依出料方向利用滚轮运送装置运送晶圆盒；

-晶圆盒储架结构体，系由轨道框架、悬吊支撑杆、辅助支撑杆、连接杆及储存框架所组成，中央装设轨道框架供作晶圆盒运送行走，两侧悬吊支撑杆悬挂在天花板上，两侧悬吊支撑杆连接辅助支撑杆，并以连接杆作为连接在轨道框架上方装设储存框架作为储放取晶圆盒置放区域；

-手臂结构体，系由手臂结构及手臂底座所组成，手臂结构系呈L型体装设在晶圆盒放置座两侧，晶圆盒放置座内部两侧装设驱动轮带动驱动皮带，而手臂结构内部装设一驱动皮带经过驱动轮为带动驱动皮带，而驱动带动两侧的手臂线轨，而手臂线轨在两侧插向晶圆盒的两侧顶向晶圆盒侧翼，而取出或放置晶圆盒，手臂底座系装设在手臂结构的底部，作为承载手臂结构；

-手臂抓取晶圆盒结构体，晶圆盒经由晶圆盒升降运输结构体升至晶圆盒储架结构体，并由滚轮运送装置运送晶圆盒，由手臂结构的手臂线轨抓取滚轮运送装置上的晶圆盒，并在手臂结构的下方手臂底座的左侧以L型板装设一线轨并以皮带作为带动手臂结构体行走在轨道框架；以及

--晶圆盒仓储结构体，以悬吊支撑杆、辅助支撑杆悬吊在天花板上，并以手臂结构体将晶圆盒放置在储存框架上，在悬吊支撑杆之间中央系手臂结构体抓取晶圆盒后，置放在左侧储存框架上形成晶圆盒群体，置放在右侧储存框架上形成晶圆盒群体，而晶圆盒放置在储存框架上，并有四个角装设有定位块作为固定住晶圆盒的储放；其中晶圆盒系由晶圆盒升降运输结构体运送至悬吊在天花板的晶圆盒储架结构体，并利用手臂结构体以手臂抓取晶圆盒，并仓储在晶圆盒仓储结构体作为晶圆盒的取放。

2.如权利要求项1所述的半导体晶圆盒仓储运输结构系统，其特征在于，定位装置系以挡片与活动轮组装在支撑杆上。

3.如权利要求项1所述的半导体晶圆盒仓储运输结构系统，其特征在于，轨道框架系由两侧轨道杆及中央U型连接板所组装成，辅助支撑杆系由L型杆及横杆以三角块相互组装，储存框架与辅助块组装，辅助支撑杆与悬吊支撑杆相互组装。

4.如权利要求项1所述的半导体晶圆盒仓储运输结构系统，其特征在于，手臂抓取晶圆盒结构体的手臂结构体将晶圆盒仓储形成晶圆盒群体，其晶圆盒置放在四个角处装设有定位块作为晶圆盒的定位作用，晶圆盒在滚轮运送装置上，而在轨道框架入口处装设有一支撑板及轨道框架的U型连接板。

5.如权利要求项1所述的半导体晶圆盒仓储运输结构系统，其特征在于，在手臂底座的中央处装设一马达，并在马达一侧装设一定位传感器，ㄧ侧端面装设有马达与皮带夹，而皮带夹夹住皮带带动手臂结构。