[发明专利]一种籽晶杆抖动检测装置的检测方法及晶体生长方法

说明书

本发明公开了一种籽晶杆抖动检测装置的检测方法及晶体生长方法，检测方法包括步骤：控制所述激光器发出激光，并通过所述接收器得到所述籽晶杆对应的光斑图像序列；所述光斑图像序列中的光斑图像为籽晶杆一个振动周期内的光斑图像，所述光斑图像序列包括第一光斑图像和第二光斑图像；根据所述光斑图像序列，确定所述籽晶杆的抖动信息。由于通过接收器得到籽晶杆对应的光斑图像序列，光斑图像序列包括第一光斑图像和第二光斑图像，并根据光斑图像序列，得到籽晶杆的抖动信息，从而检测晶体生长过程中籽晶杆的抖动情况。

技术领域

本发明涉及抖动检测技术领域，尤其涉及的是一种籽晶杆抖动检测装置的检测方法及晶体生长方法。

背景技术

现有技术中，在制备氧化镓等单晶时，先将氧化镓等原材料熔融，然后采用装载有籽晶的籽晶杆从熔融体的表面进行提拉得到单晶。在制备氧化镓单晶时，籽晶杆容易出现抖动的现象，从而导致晶体质量较低。现有技术中无法检测晶体生长过程中籽晶杆的抖动。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种籽晶杆抖动检测装置的检测方法及晶体生长方法，旨在解决现有技术中无法检测晶体生长过程中籽晶杆的抖动的问题。

本发明解决技术问题所采用的技术方案如下：

一种籽晶杆抖动检测装置的检测方法，其中，所述籽晶杆抖动检测装置包括：

晶体生长装置，所述晶体生长装置内设置有籽晶杆，所述晶体生长装置上设置有第一窗口和第二窗口；

激光器，所述激光器位于所述晶体生长装置外所述第一窗口对应位置；

接收器，所述接收器位于所述晶体生长装置外所述第二窗口对应位置；

其中，所述激光器发出的激光可依次经过所述第一窗口、所述籽晶杆、所述第二窗口并被所述接收器接收；所述激光器发出激光在所述籽晶杆处的激光光斑的直径大于所述籽晶杆的直径；

所述检测方法包括步骤：

控制所述激光器发出激光，并通过所述接收器得到所述籽晶杆对应的光斑图像序列；所述光斑图像序列中的光斑图像为所述籽晶杆一个振动周期内的光斑图像，所述光斑图像序列包括第一光斑图像和第二光斑图像；

根据所述光斑图像序列，确定所述籽晶杆的抖动信息。

所述的籽晶杆抖动检测装置的检测方法，其中，所述第一光斑图像包括：第一光斑图像数据和第一籽晶杆图像数据，所述第二光斑图像包括：第二光斑图像数据和第二籽晶杆图像数据；所述抖动信息包括：第一抖动信息；

所述根据所述光斑图像序列，确定所述籽晶杆的抖动信息，包括：

根据所述第一光斑图像数据和所述第一籽晶杆图像数据，确定所述籽晶杆的第一坐标信息；

根据所述第二光斑图像数据和所述第二籽晶杆图像数据，确定所述籽晶杆的第二坐标信息；

根据所述第一坐标信息和所述第二坐标信息，确定所述籽晶杆的第一抖动信息。

所述的籽晶杆抖动检测装置的检测方法，其中，所述第一坐标信息包括：所述籽晶杆的第一上端坐标信息、所述籽晶杆的第一上端宽度信息、所述籽晶杆的第一下端坐标信息以及所述籽晶杆的第一下端宽度信息；所述第二坐标信息包括：所述籽晶杆的第二上端坐标信息、所述籽晶杆的第二上端宽度信息、所述籽晶杆的第二下端坐标信息以及所述籽晶杆的第二下端宽度信息；所述第一抖动信息包括：第一水平抖动信息和第一垂直抖动信息；所述第一水平抖动信息为所述籽晶杆平行于所述激光的方向的抖动信息，所述第一垂直抖动信息为所述籽晶杆垂直于所述激光的方向的抖动信息；