[发明专利]信息处理方法、信息处理装置和计算机可读取的存储介质

说明书

本发明说明对基于基片的表面图像，以高可靠性评价基片的表面的处理状态有效的信息处理方法、信息处理装置和计算机可读取的存储介质。信息处理方法的一个例子可以包括：获取对象基片的表面的变形因子的信息的步骤；获取对象基片的表面图像的步骤；基于表面的变形因子的信息计算补偿因表面的变形导致的图像变化的校正系数的步骤；和使用校正系数校正对象基片的表面图像，生成对象基片的校正图像的步骤。

技术领域

本发明涉及信息处理方法、信息处理装置和计算机可读取的存储介质。

背景技术

专利文献1公开了一种基于基片表面的拍摄图像计算形成于基片上的膜的膜厚的装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-215193号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明对基于基片的表面图像以高可靠性评价基片的表面的处理状态的有效的信息处理方法、信息处理装置和计算机可读取的存储介质进行说明。

用于解决技术问题的技术方案

信息处理方法的一个例子可以包括：获取对象基片的表面的变形因子的信息的步骤；获取对象基片的表面图像的步骤；基于表面的变形因子的信息计算补偿因表面的变形导致的图像变化的校正系数的步骤；和使用校正系数校正对象基片的表面图像，生成对象基片的校正图像的步骤。

发明效果

本发明的信息处理方法、信息处理装置和计算机可读取的存储介质对基于基片的表面图像以高可靠性评价基片的表面的处理状态是有效的。

附图说明

图1是表示基片处理系统的一个例子的立体图。

图2是图1的II-II线截面图。

图3是表示处理模块的一个例子的俯视图。

图4是表示从上方观察检查单元的一个例子的截面图。

图5是表示从侧方观察检查单元的一个例子的截面图。

图6是表示检查单元的一个例子的立体图。

图7是表示从前方观察周缘拍摄副单元的一个例子的立体图。

图8是表示从后方观察周缘拍摄副单元的一个例子的立体图。

图9是表示周缘拍摄副单元的一个例子的俯视图。

图10是表示周缘拍摄副单元的一个例子的侧视图。

图11是表示反射部件的一个例子的立体图。

图12是表示反射部件的一个例子的侧视图。

图13的(a)是用于说明来自照明组件的光在反射部件反射的情形的图，图13的(b)是用于说明来自基片的光在反射部件反射的情形的图。

图14是表示基片处理系统的主要部分的一个例子的框图。

图15是表示控制器的硬件结构的一个例子的概要图。

图16是用于说明计算翘曲系数的流程的一个例子的流程图。

图17的(a)是表示呈向上凸的旋转抛物面形状的基片的立体图，图17的(b)是表示呈向下凸的旋转抛物面形状的基片的立体图。

图18是表示圆顶形状的基准基片的表面图像的一个例子的图。

图19是表示基准基片的轮廓线的一个例子的图表。