[发明专利]引晶功率确定方法、装置和计算机可读介质

权利要求书

1.引晶功率确定方法，其特征在于，包括：

获取直拉单晶炉在当前炉次的熔料阶段的特征数据，其中，所述特征数据用于表征所述直拉单晶炉在熔料阶段内炉内温度与加热器能量输出值的关系；

将所述特征数据输入功率预测模型，获得所述功率预测模型的输出，并将所述功率预测模型的输出确定为所述当前炉次的引晶功率，其中，所述功率预测模型通过所述直拉单晶炉的历史生产数据训练获得。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取直拉单晶炉在当前炉次的熔料阶段的特征数据，包括：

每经过一个预设的采样周期，对所述当前炉次的熔料阶段的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值进行一次采集，并将每次采集到的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值确定为一个当前特征向量；

将采集到的至少两个所述当前特征向量，确定为所述特征数据。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述将所述特征数据输入功率预测模型之前，所述方法还包括：

获取所述直拉单晶炉的至少两个所述历史生产数据，其中，每个所述历史生产数据对应所述直拉单晶炉生产单晶硅的一个历史炉次；

针对每个所述历史生产数据，均执行：

以所述采样周期为间隔时间，从该历史生产数据中采集熔料阶段的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值，并将每次采集到的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值确定为一个历史特征向量；

从该历史生产数据中获取该历史生产数据所对应历史炉次所使用的第一引晶功率；

将各所述历史特征向量和所述第一引晶功率，确定为一个第一训练样本；

将所述第一训练样本包括的各所述历史特征向量作为模型输入，将所述第一训练样本包括的所述第一引晶功率作为模型输出，通过各所述第一训练样本进行模型训练，获得所述功率预测模型。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取直拉单晶炉在当前炉次的熔料阶段的特征数据，包括：

对所述当前炉次的熔料阶段的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值进行采集；

根据采集到的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值，确定在所述当前炉次的熔料阶段内炉内温度与加热器能量输出值的第一映射关系；

从所述第一映射关系中采集至少两个目标加热器能量输出值所映射的第一炉内温度；

将采集到的至少两个所述第一炉内温度，确定为所述特征数据。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述将所述特征数据输入功率预测模型之前，所述方法还包括：

获取所述直拉单晶炉的至少两个所述历史生产数据，其中，每个所述历史生产数据对应所述直拉单晶炉生产单晶硅的一个历史炉次；

针对每个所述历史生产数据，均执行：

从该历史生产数据中获取熔料阶段的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值；

根据获取到的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值，确定在该历史生产数据所对应历史炉次的熔料阶段内炉内温度与加热器能量输出值的第二映射关系；

从所述第二映射关系中采集各所述目标加热器能量输出值所映射的第二炉内温度；

从该历史生产数据中获取该历史生产数据所对应历史炉次所使用的第二引晶功率；

将各所述第二炉内温度和所述第二引晶功率，确定为一个第二训练样本；

将所述第二训练样本包括的各所述第二炉内温度作为模型输入，将所述第二训练样本包括的所述第二引晶功率作为模型输出，通过各所述第二训练样本进行模型训练，获得所述功率预测模型。

6.根据权利要求2-5中任一所述的方法，其特征在于，

所述加热器功率包括主加热器功率和底部加热器功率，所述加热器电阻值包括主加热器的电阻值和底部加热器的电阻值；

和/或，

所述炉内温度根据所述直拉单晶炉内至少两个温度传感器的测量值确定。