[发明专利]一种应用于气体质量流量控制器的法兰

说明书

本申请涉及测控技术领域，具体而言，涉及一种应用于气体质量流量控制器的法兰，法兰体的内部设置有气体通道，气体通道的一端设置有管路接头，另一端设置有过滤网；环绕过滤网，在法兰体的端面上设置有凸起和凹槽。本发明结构简单、安装方便，可以同时实现气体质量流量控制器的金属密封、橡胶密封和气体过滤，针对不同的气体，可以选择不同的密封方式；在密封方面，该设计比传统的法兰只多一个加工凹槽，附加加工成本基本为零，设计的过滤网，可通过激光切割快速成型，不需要多余的过滤装置，降低了制造成本和维护成本。

技术领域

本申请涉及测控技术领域，具体而言，涉及一种应用于气体质量流量控制器的法兰。

背景技术

气体质量流量控制器在化工、半导体、镀膜技术、航天等领域有重要的应用，气体流量控制器的气动接头是连接流量控制器和压力气瓶和管道的桥梁，气体通过法兰进入流量控制器内的气体通路，保证气体的密封性和过滤性是流量控制器法兰的关键用途，是质量流量控制器精确测量和不被损坏的关键。

针对气体密封问题，传统的流量控制器的法兰的密封方法包括橡胶密封和金属密封两种，金属密封具有寿命长，耐腐蚀的特点，金属密封方法只能使用一次，橡胶密封方法，具有耐腐蚀，可反复使用的特点，缺点是其寿命较短，时间长了密封圈的材料老化，会导致流量控制系统的气密性较差，导致系统测量不准确。考虑到不同的气体，其腐蚀性不同，为了兼顾气体流量控制器的金属密封和橡胶密封的优点：长寿命、耐腐蚀、密封材料可反复使用，选择适当的密封方式和密封材料，是气体质量流量控制器的通用化法兰的关键一步。

此外，针对气体过滤问题，由于气体在管道中流动时，管道内壁的杂质容易脱落混入气体，杂质随气体流入气体流量控制器，会阻塞流量控制器的毛细管，导致流量控制器的传感器失效或遭到破坏，气体的过滤是流量控制器安全工作的关键，传统的过滤方法是在气体管路中加入过滤装置，但是该方法由于需要加入多余的过滤装置，流量控制系统的制造成本和维护成本均较高。

发明内容

针对背景技术中存在的问题，本发明提供了一种应用于气体质量流量控制器的法兰，结构简单，可以同时实现气体质量流量控制器的金属密封、橡胶密封以及气体过滤功能。

本申请提供的一种应用于气体质量流量控制器的法兰，法兰体的内部设置有气体通道，气体通道的一端设置有管路接头，另一端设置有过滤网；环绕过滤网，在法兰体的端面上设置有凸起和凹槽。

进一步的，过滤网为薄壁结构，与法兰体一体成型。

进一步的，凸起为环形凸起，用于放置挤压金属密封圈。

进一步的，凹槽均环形凹槽，用于放置挤压橡胶密封圈。

进一步的，法兰体通过管路接头与压力瓶的气体管路连通。

进一步的，法兰体通过螺栓分别固定在气体质量流量控制器的进气端和出气端。

本发明提供的一种应用于气体质量流量控制器的法兰，具有以下有益效果：

本发明结构简单、安装方便，可以同时实现气体质量流量控制器的金属密封、橡胶密封和气体过滤，针对不同的气体，可以选择不同的密封方式；在密封方面，该设计比传统的法兰只多一个加工凹槽，附加加工成本基本为零，设计的过滤网，可通过激光切割快速成型，不需要多余的过滤装置，降低了制造成本和维护成本。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请应用于气体质量流量控制器的法兰的结构示意图；

图2为本申请应用于气体质量流量控制器的法兰与气体质量流量控制器配合连接的示意图；