[发明专利]一种玻璃液通道工艺控制方法及系统

说明书

本公开涉及一种玻璃液通道工艺控制方法及系统。通过提供一种玻璃液通道温度、流量和液位的控制方法和系统，提升了玻璃液通道工艺控制能力，保证了通道工艺的稳定性。使用该方法可以减少玻璃基板气泡、铂金颗粒、条纹等熔解缺陷，并且玻璃基板的厚度均匀性、应力、翘曲品质得到了明显提升，提高了玻璃基板生产的稳定性和良率，并使通道寿命得到明显延长。

技术领域

本公开涉及平板显示玻璃基板制造领域，具体地，涉及一种玻璃液通道工艺控制方法及系统。

背景技术

随着技术的快速发展，平板显示将朝着超高清、大尺寸、柔性屏方向快速迭代，对平板显示玻璃基板的厚度均匀性、应力、翘曲等品质要求越来越高，玻璃基板板面气泡、铂金颗粒、条纹等熔解缺陷要求也更加苛刻。

通道是平板显示玻璃基板生产的重要工序，为满足玻璃基板生产的高温、高精度工艺特点以及对玻璃基板熔解缺陷的要求，通道主要由纯铂、铂铑合金制作。通道工艺的稳定控制是满足玻璃基板的高品质、无熔解缺陷的前提。

但是，在当前玻璃基板的生产中，通道工艺的控制能力相对较薄弱，工艺稳定性差，导致产生较多的气泡、铂金颗粒、条纹等熔解缺陷且难以解决，也影响玻璃基板厚度均匀性、应力、翘曲等品质进一步提升，使得玻璃基板生产的稳定性和良率无法提高，更无法满足高端机种的要求与平板显示的发展趋势。在玻璃基板生产中，通道工艺稳定包括温度稳定、玻璃液流量稳定和液位稳定。

通道温度是通过焊接在通道外部表面的热电偶测量获得。由于热电偶的在高温环境不断氧化和挥发，热电偶测量值较实际值会越来越低。在温度自动控制的加热回路中，通过不断升高功率使得测量值与设定值始终一致，最终温度实际值越来越高，导致通道工艺制度出现偏差、通道寿命大大降低。

平板显示玻璃基板对厚度均匀性、应力、翘曲等品质要求很高，对这些品质影响最大的就是玻璃液流量。玻璃液流量数据是依据玻璃基板经在线称量系统获得的实时重量数据计算而得，在线称重系统的精确是流量稳定的基础，但是这点往往容易被忽视，没有明确的对称重系统校验补偿的方法。玻璃液温度和组分的微小变化都会引起玻璃液流量的变化，目前只能依据操作人员自身经验，根据实时流量数据，及时调整铂金冷却段的设定温度或者加热回路开度进行流量调整，但是因无固化的方法，流量波动较大。

窑炉和通道一个最重要的稳定参数就是玻璃液液位，液位波动不仅影响窑炉内玻璃液环流，加速窑炉耐火材料侵蚀并产生耐火材料等结石，并导致通道内液位线附近的析晶进入玻璃液导致大量缺陷产生，液位波动较大时也会造成通道的玻璃液温度和流量波动。液位的控制通常以通道的玻璃液流量目标对应的加料量为基础，结合液位实时数据及时调整窑炉加料量，保证液位稳定。但是当加料量调整不及时或者调整量不合适，会导致液位波动增大，无法满足玻璃基板生产工艺对液位波动范围的更高要求。

发明内容

本公开的目的是提供一种玻璃液通道工艺控制方法及系统，该方法通过提供一种玻璃液通道温度、玻璃液流量和液位的控制系统，提高玻璃液通道工艺控制能力，实现通道工艺的稳定。

为了实现上述目的，本公开第一方面提供一种玻璃液通道工艺控制方法，该方法包括以下步骤：

每隔δt时段，依次降低玻璃液通道的澄清段至搅拌段区域的各回路的设定温度，并根据所述各回路的紧后回路的功率与目标功率的偏离值分别对应调整所述设定温度的降低幅度；

根据在线称重系统测得的玻璃基板实时板重w_系统确定玻璃液实时流量F_t，并根据所述F_t与通道流量目标值的偏离参数调整所述玻璃液通道的冷却段的设定温度和冷却段最后一个回路的加热功率开度；

根据玻璃液通道的液位测量值与液位基准值的偏离值，调整加料频率。

可选地，所述根据所述各回路的紧后回路的功率与目标功率的偏离值分别对应调整所述设定温度的降低幅度，包括：