[发明专利]压力传感器组件有效
申请号: | 202110187226.7 | 申请日: | 2018-04-20 |
公开(公告)号: | CN113091986B | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
发明(设计)人: | R.沃德;B.斯佩尔里奇;R.C.索伦森 | 申请(专利权)人: | 霍尼韦尔国际公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 任霄;王丽辉 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力传感器 组件 | ||
1.一种压力传感器组件,包括:
具有前侧和背侧的基底;
具有前侧和背侧的压力传感器,所述压力传感器被安装到所述基底,其中,所述压力传感器的背侧面向所述基底的前侧;
侧壁,所述侧壁接合所述基底的前侧,所述侧壁围绕所述压力传感器的外周延伸;
膜;
所述膜、所述侧壁和所述基底限定腔室;
所述压力传感器组件被构造成在所述腔室中具有不可压缩的凝胶或液体,其中,所述压力传感器的前侧被构造成暴露于所述不可压缩的凝胶或液体,
其中,所述膜包括固化的硅弹性体,
其中,所述腔室邻近于所述压力传感器被填充有第一不可压缩的凝胶或液体并且邻近于所述膜被填充有第二不可压缩的凝胶或液体。
2.根据权利要求1所述的压力传感器组件,其中,所述基底包括印刷电路板。
3.根据权利要求1所述的压力传感器组件,其中,所述侧壁的至少一部分由容器形成,所述容器限定内部腔室用于接收药物,并且其中,所述膜暴露于所述容器的内部腔室。
4.根据权利要求1所述的压力传感器组件,其中,所述膜具有背离所述压力传感器的凸出的穹顶形状。
5.根据权利要求4所述的压力传感器组件,其中,所述腔室中的不可压缩的凝胶或液体向所述膜施加正压力,以便使所述膜呈现所述凸出的穹顶形状。
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