[发明专利]部件更换方法

说明书

本发明提供部件更换方法，其能够缩短伴随消耗部件的更换的处理装置的停止期间。第一推算步骤推算处理装置的消耗部件的更换时期。确定步骤将更换时期之前的期间中的由处理装置进行的基片的处理最终结束后的时刻确定为消耗部件的可更换时刻。第二推算步骤推算部件运送装置移动至需要更换消耗部件的处理装置的位置所需的第一移动时间。第三推算步骤推算直到使已移动至需要更换消耗部件的处理装置的位置的部件运送装置成为能够进行消耗部件的更换的状态为止的准备所需的第一准备时间。发送步骤在比可更换时刻提早了第一移动时间和第一准备时间的合计时间量的时刻之前的时刻，向部件运送装置发送更换指示，来对部件运送装置指示消耗部件的更换。

技术领域

本发明的各个方面和实施方式涉及部件更换方法。

背景技术

在对基片进行处理的处理装置的内部有随着基片的处理进行而消耗的消耗部件。这样的消耗部件在消耗量比预定的消耗量大的情况下，被更换为使用前的消耗部件。消耗部件的更换中，处理装置中的基片的处理停止，处理装置的容器向大气开放。并且，通过手工取出使用后的消耗部件，安装使用前的消耗部件。然后，再关闭容器，将容器内抽真空，再次打开基片的处理。

像这样，在消耗部件的更换中，由于将处理装置的内部向大气开放，因此，在消耗部件的更换后的处理装置内需要抽真空，处理的停止时间变长。另外，在消耗部件中也存在大型的部件，因此也存在用手工进行更换需要花费时间的情况。

为了避免该状况，已知一种具有使用前的消耗部件和用于更换消耗部件的更换处理部的更换站(例如参照下述专利文献1)。在这样的更换站，处理装置与更换站连接，在更换站内被抽真空后打开处理装置与更换站之间的阻断阀。然后，通过更换站内的更换处理部从处理装置内取出使用后的消耗部件，与搭载于更换站内的使用前的消耗部件更换。由此，能够不将处理装置的内部向大气开放而更换消耗部件，能够缩短处理的停止时间。另外，由于不用手工而利用更换处理部进行消耗部件的更换，因此能够在短时间进行消耗部件的更换。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-85072号公报。

发明内容

发明要解决的问题

本发明提供能够缩短伴随消耗部件的更换的处理装置的停止期间的部件更换方法。

用于解决问题的技术手段

本发明的一个方面是一种处理系统中的部件更换方法，其中所述处理系统具有处理基片的处理装置、运送设置在所述处理装置中的消耗部件的部件运送装置、以及控制所述处理装置和所述部件运送装置的控制装置，在该方法中，控制装置实施第一推算步骤、确定步骤、第二推算步骤、第三推算步骤和发送步骤。第一推算步骤中，推算处理装置的消耗部件的更换时期。确定步骤中，将更换时期之前的期间中的由处理装置进行的基片的处理最终结束后的时刻，确定为消耗部件的可更换时刻。第二推算步骤中，推算部件运送装置移动至需要更换消耗部件的处理装置的位置所需的第一移动时间。第三推算步骤中，推算直到使已移动至需要更换消耗部件的处理装置的位置的部件运送装置成为能够进行消耗部件的更换的状态为止的准备所需的第一准备时间。发送步骤中，在比可更换时刻提早了第一移动时间和第一准备时间的合计时间的时刻之前的时刻，向部件运送装置发送更换指示，来对部件运送装置指示消耗部件的更换。

发明效果

依据本发明的各种方面和实施方式，能够缩短伴随消耗部件的更换的处理装置的停止期间。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的处理系统的一例的系统结构图。

图2是表示第一实施方式的处理装置的一例的图。

图3是表示下部电极的上表面的一例的图。

图4是表示边缘环的下表面的一例的图。