[发明专利]图像处理方法及图像处理装置、电子设备、可读存储介质

说明书

本申请实施例提供了一种图像处理方法及图像处理装置、电子设备、可读存储介质，该图像处理方法包括：根据第一图像获取第二图像；根据所述第二图像确定多个平行线组；获取所述多条平行线中每条平行线的第一标准偏差值；根据所述第一标准偏差值从所述多个平行线组中确定目标平行线组；根据所述目标平行线组确定所述第一图像的倾斜角度。这样可以快速高效的确定出在检测图像时图像需要倾斜的角度，且由于本方案确定出的倾斜角度不依赖于人的主观判断，因此可以保证测量结果的可重复性和测量结果的准确性。

技术领域

本申请涉及图像处理领域，具体涉及一种图像处理方法及图像处理装置、电子设备、可读存储介质。

背景技术

制造3D NAND存储器的过程始于沉积多层交替的材料层，例如氧化物或氮化物(ONON)或氧化物或多晶硅(OPOP)。确保生产过程中各层的均匀性和光滑性至关重要。随着层数的增加，层中的粗糙度和不均匀度会增加并迅速增长，这可能会导致较大的偏差。这反过来又会对产品性能和质量产生负面影响。通过显微镜成像，例如透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope，TEM)和扫描电子显微镜(scanning electronmicroscope，SEM)等对3DNAND交替膜叠层进行检查，检查的方面包括但不限于层厚和附着力的均匀性和光滑性。薄膜叠层图像是通过将样品放在显微镜下获得的，在测量步骤之前，需要估计图像倾斜。目前，这一估计是通过旋转图像并手动确定最适合眼睛的倾斜角度来执行的，因此这样就使得不同的分析员会根据不同程度的倾斜，得到不同的分析结果，造成测量值不可复制，无法满足半导体工业的步骤中需要的结果再现性要求。

发明内容

本申请实施例提供了一种图像处理方法及图像处理装置、电子设备、可读存储介质，以期不依赖用户的主观判断来确定图像的倾斜角度，确保测量结果的可重复性。

第一方面，本申请实施例提供了一种图像处理方法，包括：

根据第一图像获取第二图像；

根据所述第二图像确定多个平行线组，所述多个平行线组中每个平行线组的倾斜角度不同，所述每个平行线组中包括多条平行线；

获取所述多条平行线中每条平行线的第一标准偏差值，所述第一标准偏差值用于指示对应的平行线相对于所述第二图像的重合度；

根据所述第一标准偏差值从所述多个平行线组中确定目标平行线组；

根据所述目标平行线组确定所述第一图像的倾斜角度。

第二方面，本申请实施例提供了一种图像处理装置，包括：

第一获取单元，用于根据第一图像获取第二图像；

第一确定单元，用于根据所述第二图像确定多个平行线组，所述多个平行线组中每个平行线组的倾斜角度不同，所述每个平行线组中包括多条平行线；

第二获取单元，用于获取所述多条平行线中每条平行线的标准偏差值，所述标准偏差值用于指示对应的平行线相对于所述第二图像的重合度；

第二确定单元，用于根据所述第一标准偏差值从所述多个平行线组中确定目标平行线组；

第三确定单元，用于根据所述目标平行线组确定所述第一图像的倾斜角度。

第三方面，本申请实施例提供一种电子设备，其特征在于，包括处理器、存储器，以及一个或多个程序，所述一个或多个程序被存储在所述存储器中，并且被配置由所述处理器执行，所述程序包括用于执行如上述第一方面或第二方面所述的任一方法中的步骤的指令。

第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，其中，所述计算机可读存储介质存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如本申请实施例第一方面或第二方面任一方法中所描述的部分或全部步骤。