[发明专利]光检测系统、放电概率算出方法以及受光量测定方法在审

专利信息
申请号: 202110190077.X 申请日: 2021-02-18
公开(公告)号: CN113340413A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 小沼骏;森雷太 申请(专利权)人: 阿自倍尔株式会社
主分类号: G01J1/02 分类号: G01J1/02;G01J1/44
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 肖华
地址: 日本东京都千*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 检测 系统 放电 概率 方法 以及 受光量 测定
【权利要求书】:

1.一种光检测系统,其特征在于,具备:

光传感器,其构成为检测从第1光源放出的光;

第2光源,其设置成所产生的光与来自所述第1光源的光一起入射至所述光传感器,且光量是已知的;

光源控制部,其构成为控制所述第2光源的点亮/熄灭;

施加电压生成部,其构成为向所述光传感器的电极周期性地施加驱动脉冲电压;

电流检测部,其构成为检测所述光传感器的放电电流;

放电判定部,其构成为根据该电流检测部检测到的放电电流来检测所述光传感器的放电;

第1放电概率算出部,其构成为针对第1状态、第2状态、第3状态、第4状态的各方而根据所述施加电压生成部产生的所述驱动脉冲电压的施加次数和该驱动脉冲电压的施加中由所述放电判定部检测到的放电的次数来算出放电概率,所述第1状态是所述第2光源点亮或熄灭,所述第2状态是所述第2光源的点亮/熄灭的状态与所述第1状态相同而且所述驱动脉冲电压的脉冲宽度不同于所述第1状态,所述第3状态是所述第2光源的点亮/熄灭的状态不同于所述第1状态、第2状态而且所述驱动脉冲电压的脉冲宽度与所述第1状态相同,所述第4状态是所述第2光源的点亮/熄灭的状态与所述第3状态相同而且所述驱动脉冲电压的脉冲宽度与所述第2状态相同;

存储部,其构成为预先存储所述驱动脉冲电压的基准脉冲宽度、所述光传感器的基准受光量、以及所述第1状态、第2状态与所述第3状态、第4状态下的所述光传感器的受光量的差作为所述光传感器的已知的灵敏度参数;

第2放电概率算出部,其构成为根据所述存储部中存储的灵敏度参数、所述第1状态、第2状态、第3状态、第4状态时由所述第1放电概率算出部算出的放电概率、以及所述第1状态、第2状态、第3状态、第4状态时的所述驱动脉冲电压的脉冲宽度,来算出所述驱动脉冲电压的脉冲宽度为所述基准脉冲宽度、所述光传感器的受光量为所述基准受光量时的正规放电的放电概率和由不依存于所述驱动脉冲电压的脉冲宽度而产生而且依存于所述光传感器的受光量而产生的所述光传感器的光电效应带来的放电以外的噪声分量所引起的非正规放电的放电概率;以及

受光量算出部,其构成为根据所述存储部中存储的灵敏度参数、所述第1状态、第2状态、第3状态、第4状态时由所述第1放电概率算出部算出的放电概率、所述第1状态、第2状态、第3状态、第4状态时的所述驱动脉冲电压的脉冲宽度、以及所述第2放电概率算出部算出的放电概率来算出所述第1状态、第2状态或者所述第3状态、第4状态时的所述光传感器的受光量。

2.根据权利要求1所述的光检测系统,其特征在于,

在将所述驱动脉冲电压的基准脉冲宽度设为T0,将所述光传感器的基准受光量设为Q0,将所述第1状态、第2状态与所述第3状态、第4状态下的所述光传感器的受光量的差设为Q1-Q2,将所述第1状态时由所述第1放电概率算出部算出的放电概率设为11P,将所述第2状态时由所述第1放电概率算出部算出的放电概率设为12P,将所述第3状态时由所述第1放电概率算出部算出的放电概率设为21P,将所述第4状态时由所述第1放电概率算出部算出的放电概率设为22P,将所述第1状态、第3状态时的所述驱动脉冲电压的脉冲宽度设为T1,将所述第2状态、第4状态时的所述驱动脉冲电压的脉冲宽度设为T2,将所述正规放电的放电概率设为PaA,将所述非正规放电的放电概率设为PbA,将所述第1状态、第2状态或者所述第3状态、第4状态时的所述光传感器的受光量设为Q时,所述第2放电概率算出部利用算式1来算出所述正规放电的放电概率PaA

【算式1】

利用算式2或算式3来算出所述非正规放电的放电概率PbA

【算式2】

【算式3】

所述受光量算出部利用算式4或算式5来算出所述受光量Q,

【算式4】

【算式5】

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