[发明专利]玻璃检测机台

说明书

本发明的实施例提供了一种玻璃检测机台，包括：载台；支撑件，位于载台上，支撑件用于将玻璃固定在载台上方，并且支撑件用于在玻璃和载台之间形成空间；取像装置，设置在载台和支撑件上方，取像装置用于获取和接收玻璃的影像。本发明的目的在于提供一种玻璃检测机台，以提高检测的准确性。

技术领域

本发明的实施例涉及玻璃检测机台。

背景技术

在目前的半导体器件的制程中，会对封装或线路结构等设备进行测试，在测试时会以玻璃基板为基底来进行监控，在玻璃基板上来调整参数以确认制程的可行性。在以玻璃基板作为基底之前，需要对玻璃的表面进行检测，以避免颗粒(Particle)对后续的制程产生影响。

发明内容

针对相关技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种玻璃检测机台，以提高检测的准确性。

为实现上述目的，本发明的实施例提供了一种玻璃检测机台，包括：载台；支撑件，位于载台上，支撑件用于将玻璃固定在载台上方，并且支撑件用于在玻璃和载台之间形成空间；取像装置，设置在载台和支撑件上方，取像装置用于获取和接收玻璃的影像。

在一些实施例中，取像装置是电荷耦合器件(CCD)相机。

在一些实施例中，空间的高度大于玻璃的厚度的二倍。

在一些实施例中，空间的高度大于600μm。

在一些实施例中，支撑件包括用于固定玻璃的顶部边缘。

在一些实施例中，顶部边缘包括共用构造成L形的纵向部和横向部，玻璃放置在横向部上，纵向部横向围绕玻璃。

在一些实施例中，纵向部的顶面与玻璃的顶面齐平。

在一些实施例中，纵向部的顶面高于玻璃的顶面。

在一些实施例中，横向部设置有用于吸附固定玻璃的第一真空吸孔。

在一些实施例中，支撑件还包括连接于顶部边缘的横向部的十字支架，十字支架和横向部均接触玻璃。

在一些实施例中，十字支架设置有用于吸附固定玻璃的第二真空吸孔。

在一些实施例中，支撑件还包括连接于横向部和十字支架的复数个延伸部，复数个延伸部接触并支撑玻璃。

在一些实施例中，载台的面向玻璃的表面涂覆有抗反射材料。

在一些实施例中，载台、支撑件和玻璃具有相似形状的外轮廓。

在一些实施例中，在载台和玻璃之间存在颗粒。

在一些实施例中，颗粒位于载台的上表面上并且与玻璃隔开。

在一些实施例中，颗粒位于玻璃的下表面上并且与载台隔开。

在一些实施例中，在玻璃的上表面上也存在颗粒。

在一些实施例中，玻璃是透光的，并且玻璃的表面未涂覆有其他材料。

在一些实施例中，空间由载台、支撑件以及玻璃包围，并且空间为真空的。

附图说明

当结合附图进行阅读时，从以下详细描述可最佳理解本发明的各个方面。应该指出，根据工业中的标准实践，各个部件未按比例绘制。实际上，为了清楚的讨论，各个部件的尺寸可以任意地增大或减小。

图1至图4示出了现有的机台的结构示意图及其成像。

图5至图8示出了根据本申请实施例的机台的结构示意图。

具体实施方式

为更好的理解本申请实施例的精神，以下结合本申请的部分优选实施例对其作进一步说明。