[发明专利]基于光-机械相互作用的主动式片上调制器及调控方法

权利要求书

1.一种基于光-机械相互作用的主动式片上调制器，其特征在于，包括：

提供脉冲激光的脉冲激光器；

提供连续激光的连续激光器；

可与所述脉冲激光器或连续激光器连通的微纳光纤；

置于所述微纳光纤上的微纳米片；

所述微纳米片在所述脉冲激光器作用下，能够沿所述微纳光纤进行轴向移动或者沿轴向进行螺旋移动；在所述连续激光器作用下，能在所述微纳光纤上进行原地摆动；

所述的脉冲激光器为宽谱光源或单波长光源；所述的连续激光对应的能量大于微纳米片的带隙；

所述微纳光纤为直径在0.5~8微米范围内的光纤。

2.根据权利要求1所述的基于光-机械相互作用的主动式片上调制器，其特征在于，所述微纳米片为具有吸收激光性质的金属微米片、金属纳米片、半导体微米片、半导体纳米片。

3.根据权利要求1所述的基于光-机械相互作用的主动式片上调制器，其特征在于，还包括对所述脉冲激光器或/和连续激光器的工作参数进行控制的控制器。

4.根据权利要求1~3任一项所述的基于光-机械相互作用的主动式片上调制器，其特征在于，还包括用于固定待调制光学芯片的支撑平台，以及将所述微纳光纤悬空定位在支撑平台设定位置的定位件。

5.根据权利要求1~3任一项所述的基于光-机械相互作用的主动式片上调制器，其特征在于，还包括将微纳光纤与所述脉冲激光器输出端连接的裸光纤适配器。

6.根据权利要求5所述的基于光-机械相互作用的主动式片上调制器，其特征在于，所述微纳光纤一端通过裸光纤适配器与所述脉冲激光器相连，另一端通过裸光纤适配器与连续激光器相连。

7.一种光学芯片的主动式调控方法，其特征在于，采用权利要求1~6任一项所述的调制器，利用所述脉冲激光将所述微纳米片移动至设定目标位置；利用所述连续激光驱使所述微纳米片在所述设定目标位置进行原地摆动，摆动过程中，所述微纳米片与光学芯片接触或分离，实现对所述的光学芯片的调控。

8.根据权利要求7所述光学芯片的主动式调控方法，其特征在于，在起始阶段，利用增加脉冲强度和/或脉冲数量，使得微纳米片以较快的速度移动；在接近设定目标位置时，减小所述脉冲强度和/或脉冲数量，使得微纳米片以较慢的速度移动至设定位置。