[发明专利]一种石墨载盘装置

权利要求书

1.一种石墨载盘装置，其特征在于，包括：载盘架及石墨载盘；

所述载盘架包括若干支撑杆及分别用于连接各所述支撑杆两端的两块固定座；各所述支撑杆和所述两块定座围成一容置空间，各所述支撑杆朝所述容置空间的一侧设有若干个连接凹槽，所述支撑杆的连接凹槽能够分别与其他所述支撑杆的一个连接凹槽形成一组定位凹槽；各所述连接凹槽的凹槽底部均设有卡槽，所述卡槽与所述连接凹槽的侧壁距离设置，且同一组定位凹槽的所述卡槽形成一组定位卡槽；

所述石墨载盘具有晶圆承载部与石墨载盘底部，晶圆承载部边沿比石墨载盘底部边沿多出部分为石墨载盘的边沿凸出部；

所述石墨载盘能够垂直定位于所述一组定位凹槽，且所述石墨载盘的边沿凸出部能够定位于同一组定位凹槽的所述一组定位卡槽；

所述卡槽的尺寸、形状与所述边沿凸出部相匹配。

2.根据权利要求1所述的一种石墨载盘装置，其特征在于：卡槽高度(H1)大于边沿凸出部高度(H2)；卡槽宽度(W1)大于边沿凸出部宽度(W2)。

3.根据权利要求1所述的一种石墨载盘装置，其特征在于：各所述连接凹槽两侧具有支撑杆凸起部，连接凹槽宽度(W3)与支撑杆凸起部宽度(W4)比例范围为1:2至1:1。

4.根据权利要求1或3所述的一种石墨载盘装置，其特征在于：每个所述卡槽的底部均设有若干个透气孔，各所述透气孔贯穿支撑杆底部，各所述透气孔的横截面为圆形或椭圆形或多边形。

5.根据权利要求4所述的一种石墨载盘装置，其特征在于：透气孔宽度(W5)小于或等于卡槽宽度(W1)。

6.根据权利要求1所述的一种石墨载盘装置，其特征在于：所述容置空间为开放式容置空间，且该开放式容置空间用以容置至少一个所述石墨载盘。

7.根据权利要求1所述的一种石墨载盘装置，其特征在于：各所述支撑杆互相平行，且每个所述支撑杆的连接凹槽的数量、尺寸一致。

8.根据权利要求1所述的一种石墨载盘装置，其特征在于：所述一组定位凹槽和所述一组定位卡槽的形状均为弧形或半圆形。

9.根据权利要求1所述的一种石墨载盘装置，其特征在于：所述两块固定座可拆卸地连接各所述支撑杆两端。

10.根据权利要求1所述的一种石墨载盘装置，其特征在于：所述两块固定座近似倒梯形体，且所述两固定座设有相对的通孔。

11.根据权利要求1所述的一种石墨载盘装置，其特征在于：所述载盘架独立设置，且所述载盘架可移动。