[发明专利]布线图案生成装置、描画系统、布线图案生成方法以及布线图案生成程序

说明书

本发明提供一种快速获得电气元件的布线图案的布线图案生成装置。获取表示配置于基板(W)的电气元件(E)的位置的图像数据(Di)与表示将电力供给至电气元件(E)的电源线(Lv)的布线图案即电源布线图案(Pv)的图案数据(Dp)。基于图像数据(Di)所表示的电气元件(E)的位置与图案数据(Dp)所表示的电源布线图案(Pv)，生成连接电气元件(E)与电源线(Lv)的电源连接线(Lcv)的布线图案即电源连接布线图案(Pcv)。此时，在图案数据(Dp)中，通过将具有规定的形状和尺寸的模板图案(Ptv)作为电源连接布线图案(Pcv)配置的运算来生成电源连接布线图案(Pcv)。

技术领域

本发明涉及生成用于对电气元件的布线图案进行表示的图案数据的技术。

背景技术

在专利文献1中，记载如下技术：基于图案数据将光从曝光头照射至基板，由此将图案数据表示的布线图案描画至基板。尤其是，在专利文献1中，根据配置于基板的电气元件的实际位置与基准位置(换言之，在设计中确定的位置)之间的偏移来计算电气元件与电极之间的布线图案。由此，不管电气元件的位置偏移如何，都能够获得电气元件与电极之间的布线图案。

专利文献1：日本特开2016-71022号公报

专利文献2：日本特开2013-4792号公报

例如，如专利文献2的发光装置所示，在制造排列有大量电气元件(发光二极管)的装置时，在求出到每个电气元件的布线图案的运算中可能花费很长时间。因此，需求能够快速获得针对电气元件的布线图案的技术。

发明内容

本发明鉴于上述问题而提出，其目的在于，能够快速获得针对电气元件的布线图案。

本发明的布线图案生成装置包括：数据获取部，获取表示配置于基板的电气元件的位置的元件配置数据、和表示将电力供给至电气元件的电力线的布线图案即电力布线图案的图案数据；以及数据修正部，基于元件配置数据所表示的电气元件的位置和图案数据所表示的电力布线图案，生成将电气元件与电力线连接的连接线的布线图案即连接布线图案，由此生成表示电力布线图案和连接布线图案的修正图案数据，数据修正部在图案数据中，通过将具有规定的形状和尺寸的模板图案作为连接布线图案的至少一部分，配置在电气元件与电力布线图案之间来生成连接布线图案。

本发明的布线图案生成方法包括：获取表示配置于基板电气元件的位置的元件配置数据和表示将电力供给至电气元件的电力线的布线图案即电力布线图案的图案数据的工序；以及基于元件配置数据所表示的电气元件的位置和图案数据所表示的电力布线图案，生成将电气元件和电力线连接的连接线的布线图案即连接布线图案，由此生成表示电力布线图案和连接布线图案的修正图案数据的工序，在图案数据中，通过将具有规定的形状和尺寸的模板图案作为连接布线图案的至少一部分配置在电气元件和电力布线图案之间来生成连接布线图案。

本发明的布线图案生成程序在计算机中执行：获取表示配置于基板电气元件的位置的元件配置数据和表示将电力供给至所述电气元件的电力线的布线图案即电力布线图案的图案数据的工序；以及基于所述元件配置数据所表示的所述电气元件的位置和所述图案数据所表示的所述电力布线图案，生成将所述电气元件和所述电力线连接的连接线的布线图案即连接布线图案，由此生成表示所述电力布线图案和所述连接布线图案的修正图案数据的工序，计算机在图案数据中，通过将具有规定的形状和尺寸的模板图案作为连接布线图案的至少一部分配置在电气元件和电力布线图案之间来生成连接布线图案。