[发明专利]石英振荡器的收纳箱

权利要求书

1.一种石英振荡器的收纳箱，其用于通过在真空气氛下的成膜处理中测量共振频率来监控其表面形成的薄膜的厚度，其特征在于，具有：

箱主体，在其上表面上，多个第一凹部留出间隔地设置在第一虚拟圆周上，所述第一凹部可收纳在石英振荡器的主面朝上下方向的水平姿态下的石英振荡器；第一帽体，其从箱主体上方装卸自如地安装在所述箱主体上；以及锁止装置，其相对于箱主体锁止第一帽体；在通过该锁止装置将第一帽体锁止到箱主体上的状态下第一凹部中收纳的石英振荡器的脱出受到限制；

锁止装置具有设置在第一帽体和箱主体任意一方上的突条，以及在第一帽体和箱主体任意另一方上的多个锁止突起。

2.根据权利要求1所述的石英振荡器的收纳箱，其特征在于：

在所述第一凹部的周围与其连续地设置比该第一凹部面积小的第二凹部。

3.根据权利要求1或2所述的石英振荡器的收纳箱，其特征在于：

在所述第一凹部中形成支撑片，该支撑片以其外边缘部支撑从该第一凹部的上方落入其中的石英振荡器。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的石英振荡器的收纳箱，其特征在于：

具有第二帽体，其在将第一帽体装设到箱主体上之前，可从箱主体的上方装卸自如地装设在所述箱主体上，在与箱主体的上表面相对的第二帽体的面上，朝任意一个第一凹部，形成可取出第一凹部中收纳的石英振荡器的取出开口。

5.据权利要求1-3中任意一项所述的石英振荡器的收纳箱，其特征在于：

可在具有设置凹部的石英振荡型薄膜厚度监控用传感器头的支架上安装未使用的石英振荡器，且所述设置凹部中在以旋转中心为中心的第二虚拟圆周上留出间隔地设置多个石英振荡器；

支架设置为在该石英振荡器的设置面上形成凸台部，所述凸台部轴线通过旋转中心，在所述第一帽体的上表面上，设置对凸台部进行嵌合且使第一虚拟圆和第二虚拟圆同心且一致的嵌合凹部，并且设置相位确定装置，所述相位确定装置将第一帽部相对于支架的相位确定为第一凹部和设置凹部在上下方向上对中。