[发明专利]一种半导体制造系统投料控制方法及系统

说明书

本发明公开了一种半导体制造系统投料控制方法及系统，属于制造加工控制技术领域，方法包括如下步骤：基于训练好的极限学习机模型建立输入多个实时状态并输出动态阈值的WRELM投料策略模型；基于训练好的极限学习机模型和利用订单信息与工件投料优先级确定的多元线性回归方程，构建RPELM投料顺序模型；利用所述WRELM投料策略模型确定半导体制造系统的投料时刻，利用所述RPELM投料顺序模型确定半导体制造系统的投料顺序。本发明提供的方法及系统基于极限学习机能够对投料策略中阈值随实时状态变动进行动态调整，提升了投料控制策略效率。

技术领域

本发明涉及制造加工控制技术领域，尤其涉及一种半导体制造系统投料控制方法及系统。

背景技术

投料控制是半导体制造系统调度的重要组成部分，处于半导体制造系统调度体系的前端，在整个半导体制造过程调度中占据重要地位，投料控制影响着其他类型的调度，对提高半导体制造系统的整体性能具有重要意义。

在常用投料控制策略中，静态投料控制策略往往没有考虑生产线上的实时状态信息，而动态投料控制策略虽然考虑了实时状态信息，但是往往只考虑到实时状态信息中的一个方面，如CONWIP(Constant WIP，CONWIP)只考虑了生产线在制品数量，WR只考虑了瓶颈设备上的工作负荷。此外，动态投料控制策略中的阈值往往是根据试凑法确定，没有根据实时状态信息做出动态调整，所以常用投料控制策略中的静态投料方法和动态投料方法均没有完全考虑到生产线上的实时状态，具有一定的片面性。

改进投料控制策略是在常用投料控制策略上，综合了各种投料控制策略优点，但是效果与实用性相互矛盾，即投料策略的效果与实用性往往成负相关性。这种投料方式的效果可能显著，但是其复杂的决策机制往往需要大量的计算时间，影响投料决策的效率。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种半导体制造系统投料控制方法及系统，基于极限学习机能够对投料策略中阈值随实时状态变动进行动态调整，提升了投料控制策略策略效率。

为达到上述目的，本发明是采用下述技术方案实现的：

一方面，本发明提供了一种半导体制造系统投料控制方法，包括如下步骤：

基于训练好的极限学习机模型，建立输入多个实时状态并输出动态阈值的WRELM投料策略模型；

利用所述WRELM投料策略模型确定半导体制造系统的投料时刻进行投料控制。

进一步的，极限学习机模型的训练方法包括如下步骤：

获取训练集和测试集；

初始化极限学习机模型的输入层权值矩阵和隐含层阈值矩阵；

将训练集输入所述极限学习机模型中求得极限学习机模型的输出层权值矩阵；

利用测试集对获得输出层权值矩阵的极限学习机模型进行验证，获得通过验证的极限学习机模型。

进一步的，建立输入多个实时状态并输出动态阈值的WRELM投料策略模型的方法包括如下步骤：

选取不同固定阈值的WR方法来进行仿真模拟获取样本；

将获取的样本输入训练好的极限学习机模型进行训练学习获得所述WRELM投料策略模型。

进一步的，训练学习获得所述WRELM投料策略模型的方法包括如下步骤：

根据仿真模拟的短期性能指标选取样本；

选取所述样本中所述短期性能指标对应的实时状态作为极限学习机模型的输入，选取所述短期性能指标对应的WR阈值作为极限学习机模型的输出；