[发明专利]一种掩膜版批量临时存储装置及掩膜版周转系统

权利要求书

1.一种掩膜版批量临时存储装置，其特征在于，包括横截面呈U型框状结构的存储架，所述存储架上呈上下位置设置有若干存储层，所述存储层包括分别设置在所述存储架两相对的内侧面上的固定导梁，两所述固定导梁上设置有移动架，所述移动架沿所述固定导梁轴线方向移动进出框状结构的存储架内部区域，所述移动架上设置有夹紧机构。

2.根据权利要求1所述的掩膜版批量临时存储装置，其特征在于，所述移动架包括分别设置在两所述固定导梁上且与固定导梁平行的移动梁，所述移动梁底部连接有第一螺杆机构，所述第一螺杆机构设置在所述固定导梁内并与带动所述移动梁沿所述固定导梁移动，实现所述夹紧机构进出框状结构的存储架内部区域。

3.根据权利要求1所述的掩膜版批量临时存储装置，其特征在于，所述夹紧机构包括夹具和夹具安装座，所述夹具安装座包括两断桥梁，两所述断桥梁相互平行设置且两端分别搭接在两移动梁上，两所述断桥梁底部连接有第二螺杆机构，所述第二螺杆机构设置在移动梁内并带动两断桥梁相对或向背运动，完成夹具尺寸调节。

4.根据权利要求3所述的掩膜版批量临时存储装置，其特征在于，所述断桥梁水平设置且轴线与所述移动梁轴线垂直，所述断桥梁包括两同轴设置的单梁，两单梁之间留有间距，所述夹具包括分别设置在各单梁上的一L型的支撑块。

5.根据权利要求4所述的掩膜版批量临时存储装置，其特征在于，四所述支撑块底部均连接有第三螺杆机构，所述第三螺杆机构分别设置在各单梁内并带动同一断桥梁上的两支撑块靠近或远离，完成夹具尺寸调节，四所述支撑块由掩膜版的四个顶角位置实现对掩膜版进行夹紧。

6.一种掩膜版周转系统，其特征在于，包括控制系统、中转装置、AGV和如权利要求1至5任一所述的存储装置，所述中转装置包括升降平台和设置在所述升降平台上的中转执行机构；所述控制系统控制升降平台分别适应存储装置上各存储层高度和AGV高度，中转执行机构实现掩膜版在AGV和存储层之间周转。

7.根据权利要求6所述的掩膜版周转系统，其特征在于，所述中转装置还包括固定架和呈竖直状态安装在所述固定架上升降机构，所述升降平台与所述升降机构顶部连接，所述升降机构通过所述升降平台带动安装在所述升降平台上的中转执行机构升降至适应存储层位置；

所述升降机构包括气缸、安装在气缸推杆顶部的过度平台和连接过度平台上表面与升降平台下表面的支撑立柱，所述支撑立柱设置不少于三根，且与升降平台中心轴线对称设置。

8.根据权利要求6所述的一种掩膜版周转系统，其特征在于，所述中转执行机构包括呈“十”字排列固定在所述升降平台上的四固定臂和分别设置在四所述固定臂内的中转夹紧机构，所述中转夹紧机构包括分别设置在四固定臂上的第四螺杆机构和分别与四所述第四螺杆机构连接的中转夹紧块，所述第四螺杆机构带动四所述中转夹紧块相向或相离运动，实现中转夹紧机构尺寸调节；

四所述中转夹紧块以升降平台的中轴线中心对称设置，四所述周转夹紧块由掩膜版的四边沿中心位置实现对掩膜版固定。

9.根据权利要求6所述的一种掩膜版周转系统，其特征在于，所述AGV上设置有周转执行机构，所述周转执行机构包括两平行设置的支撑臂组，两所述支撑臂组上分别设置有第五螺杆机构，所述第五螺杆机构带动两支撑臂组靠近或远离；所述支撑臂组包括呈上下位置设置的下支撑臂和上支撑臂，上支撑臂长度大于下支撑臂且设置有第六螺杆机构，所述下支撑臂和所述第六螺杆机构上均吊挂有一L型的周转夹紧块，同一支撑臂组上的两L型的周转夹紧块相对设置，第六螺杆机构实现同一支撑臂组上的的周转夹紧块相对靠近过远离，两支撑臂组上的四周转夹紧块由掩膜版的四个顶角位置实现对掩膜版夹紧。