[发明专利]图案热点检测方法、验证方法以及光学邻近修正方法

权利要求书

1.一种图案热点检测方法，所述图案为经过光学邻近修正的图案，所述图案至少包括两个特征，其特征在于，所述方法包括：

获取所述图案中每个所述特征的间隙宽度容限值，具体为：获取所述图案中相邻的两个所述特征的宽度并确定两个所述特征对应宽度所属的宽度范围，基于预先建立好的特征宽度范围和所述间隙宽度容限值的对应关系表，获取所述图案中相邻的两个所述特征的所述间隙宽度容限值；

针对所述图案中相邻的两个所述特征：

获取两个所述特征之间的预设间隙阈值，所述预设间隙阈值基于将相邻的两个所述特征的所述间隙宽度容限值和两个所述特征分别对应的权重的乘积进行求和后确定；

基于所述预设间隙阈值对两个所述特征的间隙进行检测，当相邻两个所述特征的所述间隙小于所述预设间隙阈值时，确定相邻两个所述特征所在区域为所述图案的热点。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述权重的取值范围包括0.25～0.75。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设间隙阈值基于将相邻的两个所述特征的所述间隙宽度容限值和两个所述特征分别对应的权重的乘积进行求和后确定，包括：

当相邻两个所述特征的线宽属于不同线宽范围时，基于两个所述特征的所述间隙宽度容限值的平均值设置所述预设间隙阈值。

4.一种图案热点验证方法，其特征在于，包括：

对经过光学邻近修正的目标图案进行初步验证以检测出虚拟热点，其中，所述虚拟热点所在区域至少包括两个特征；

获取所述虚拟热点所在区域包含的每个所述特征的间隙宽度容限值，具体为：获取所述图案中相邻的两个所述特征的宽度并确定两个所述特征对应宽度所属的宽度范围，基于预先建立好的特征宽度范围和所述间隙宽度容限值的对应关系表，获取所述图案中相邻的两个所述特征的所述间隙宽度容限值；

获取所述虚拟热点所在区域中相邻的两个所述特征之间的预设间隙阈值，所述预设间隙阈值基于将相邻的两个所述特征的所述间隙宽度容限值和两个所述特征分别对应的权重的乘积进行求和后确定；

基于所述预设间隙阈值对所述虚拟热点进行二次检测，当相邻两个所述特征的间隙小于所述预设间隙阈值时，确认所述虚拟热点为所述目标图案的热点。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述权重的取值范围包括0.25～0.75。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预设间隙阈值基于将相邻的两个所述特征的所述间隙宽度容限值和两个所述特征分别对应的权重的乘积进行求和后确定，包括：

当相邻两个所述特征的线宽属于不同线宽范围时，基于两个所述特征的所述间隙宽度容限值的平均值设置所述预设间隙阈值。

7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，对经过光学邻近修正的目标图案进行初步验证以检测出虚拟热点，包括：

基于临界尺寸或所述间隙宽度容限值，对经过光学邻近校正的所述目标图案进行初步验证以检测出所述虚拟热点。

8.一种光学邻近修正方法，其特征在于，包括：

对目标图案进行光学邻近修正；

获取所述目标图案中每个特征的间隙宽度容限值，具体为：获取所述图案中相邻的两个所述特征的宽度并确定两个所述特征对应宽度所属的宽度范围，基于预先建立好的特征宽度范围和所述间隙宽度容限值的对应关系表，获取所述图案中相邻的两个所述特征的所述间隙宽度容限值；

针对所述目标图案中相邻的两个所述特征：

获取两个所述特征之间的预设间隙阈值，所述预设间隙阈值基于将相邻的两个所述特征的所述间隙宽度容限值和两个所述特征分别对应的权重的乘积进行求和后确定；

基于所述预设间隙阈值对两个所述特征的间隙进行检测，当相邻两个所述特征的所述间隙小于所述预设间隙阈值时，确定相邻两个所述特征所在区域为所述目标图案的热点；

基于所述热点对所述目标图案再次进行光学修正以及热点检测，直至检测出所述目标图案中的所述热点数量满足预设要求。