[发明专利]一种基于性能指标的半导体生产线动态调度方法

权利要求书

1.一种基于性能指标的半导体生产线动态调度方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

获取半导体生产线的状态参数；

将获取到的状态参数，输入预先训练的生产线性能预测模型，预测得到生产线达到最优性能指标时的预测参数；

基于获取到的状态参数和预测到的预测参数，采用预先训练的参数学习模型，预测得到动态调度中所需的调度参数；

将预测得到的调度参数用于预设的生产线调度策略中指导生产线正确派工进行半导体生产线动态调度。

2.根据权利要求1所述的基于性能指标的半导体生产线动态调度方法，其特征在于，所述半导体生产线的状态参数通过仿真系统对半导体生产线生产过程模拟计算得到的，包括加工区I的Mov值m_I、加工区I的设备利用率u_I、生产线上紧急工件数hot、生产线上不同类型工件在加工区内在制品数总数wip_k、加工区I的缓冲区内排队工件长度l_I、生产线计划区间内的Mov值Mov_per_6、生产线调度策略中设备i前排队工件信息变量前参数α和下游设备负载程度前的参数β。

3.根据权利要求2所述的基于性能指标的半导体生产线动态调度方法，其特征在于，所述生产线计划区间在实际调度中以6小时为时间单元。

4.根据权利要求2所述的基于性能指标的半导体生产线动态调度方法，其特征在于，所述预先训练的生产线性能预测模型，通过以下步骤得到：

生产线通过通过仿真系统对半导体生产线生产过程模拟计算，获取需要的半导体生产线的状态参数；所述需要的半导体生产线的状态参数包括：m_I、u_I、hot、wip_k和Mov_per_6；

预处理状态参数，将半导体生产线的当前属性值m_I、u_I、hot和wip_k作为样本集的输入参数，将生产线计划区间内的Mov值Mov_per_6作为样本集的输出参数；

初始化ELM模型的隐含神经元数l和Sigmoid激活函数，将样本集划分为训练集和测试集，将训练集的输入参数和输出参数输入ELM模型；

训练ELM模型，通过以下公式训练：

β＝H⁺T (1)

其中，β表示状态参数的权值矩阵，H⁺表示由输入参数写成的矩阵，T表示生产线的生产时间，当输出状态参数的权值矩阵β时，训练结束；

使用测试集测试训练完成的ELM模型，得到预先训练的生产线性能预测模型。

5.根据权利要求2所述的基于性能指标的半导体生产线动态调度方法，其特征在于，所述预先训练的参数学习模型，通过以下步骤得到：

生产线通过仿真系统对半导体生产线生产过程模拟计算，获取需要的半导体生产线的状态参数；所述需要的半导体生产线的状态参数包括：m_I、u_I、hot、wip_k和Mov_per_6；

预处理状态参数，将半导体生产线的当前属性值m_I、u_I、hot、wip_k以及生产线计划区间内的Mov值Mov_per_6作为样本集的输入参数；

初始化ELM模型的隐含神经元数l和Sigmoid激活函数；

训练ELM模型，通过以下公式训练：

β＝H⁺T (2)

其中，β表示状态参数的权值矩阵，H表示由输入参数写成的矩阵，T表示生产线的生产时间，当输出状态参数的权值矩阵β时，训练结束；

使用测试集测试训练完成的ELM模型，得到预先训练的参数学习模型。