[发明专利]用于提供对称流体流的真空阀

权利要求书

1.一种真空调节阀(10,20,30,50)，所述真空调节阀用于调整体积流或质量流且用于以气密的方式中断流路，所述真空调节阀具有：

-第一阀座，所述第一阀座具有限定出第一开口轴线(39a)的第一阀开口(11a,21a,31a,51a)和围绕所述第一阀开口(11a,21a,31a,51a)的第一密封面(12a,32a)；

-第一阀盘(13a,23a,33a,53a)，所述第一阀盘(13a,23a,33a,53a)具有对应于所述第一密封面(12a,32a)的第一接触面(14a,34a)；

-驱动单元，所述驱动单元被设计成和被连接至所述第一阀盘(13a,23a,33a,53a)，使得所述第一阀盘能从打开位置移动到关闭位置并且能够回移，在所述打开位置中所述第一阀盘(13a,23a,33a,53a)和所述第一阀座彼此相互不接触，在所述关闭位置中通过位于其间的密封件而在所述第一密封面(12a,32a)和所述第一接触面(14a,34a)之间存在轴向密封接触并且所述第一阀开口(11a,21a,31a,51a)由此被气密封闭，其特征是，所述真空调节阀(10,20,30,50)至少具有：

-第二阀座，所述第二阀座具有限定出第二开口轴线(39b)的第二阀开口(11b,21b,31b,51b)和围绕所述第二阀开口(11b,21b,31b,51b)的第二密封面(12b,32b)；

-第二阀盘(13b,23b,33b,53b)，所述第二阀盘(13b,23b,33b,53b)具有对应于所述第二密封面(12b,32b)的第二接触面(14b,34b)，其中，所述真空调节阀的阀总开口至少通过作为第一阀子开口的所述第一阀开口(11a,21a,31a,51a)和作为第二阀子开口的所述第二阀开口(11b,21b,31b,51b)构成。

2.根据权利要求1所述的真空调节阀(10,20,30,50)，其特征是，所述真空调节阀(10,20,30,50)具有：

-第三阀座，所述第三阀座具有限定第三开口轴线(39c)的第三阀开口(11c,21c,31c)和围绕所述第三阀开口(11c,21c,31c)的第三密封面(12c,32c)，和

-第三阀盘(13c,23c,33c)，所述第三阀盘具有与所述第三密封面(12c,32c)对应的第三接触面(14c,34c)，

其中，所述阀总开口还通过作为第三阀子开口的所述第三阀开口(11c,21c,31c)构成。

3.根据权利要求1或2所述的真空调节阀(10,20,30,50)，其特征是，所述驱动单元被连接至所述第二阀盘(13b,23b,33b,53b)、尤其是连接至所述第三阀盘，从而使得所连接的阀盘至少能从各自打开位置移动到关闭位置且能回移，在所述打开位置中相应阀盘和相应阀座彼此相对不接触，在所述关闭位置中通过相应位于其间的密封件而在相应密封面与相应接触面之间存在轴向密封接触并且由此以气密的方式关闭相应的阀子开口。

4.根据前述权利要求中任一项所述的真空调节阀(10,20,30,50)，其特征是，所述真空调节阀(10,20,30,50)具有连接机构，所述连接机构提供所述第一阀盘(13a,23a,33a,53a)与所述第二阀盘(13b,23b,33b,53b)并且尤其是与所述第三阀盘(13c,23c,33c)的机械连接并连接至所述驱动单元，使得相应阀盘能借助所述驱动单元被共同移动。

5.根据前述权利要求中任一项所述的真空调节阀(10,20,30,50)，其特征是，

-所述驱动单元具有至少一个第一驱动部件(15a,25a,35a)和第二驱动部件(15b,25b,35b)尤其是第三驱动部件、尤其是相应电机，并且

-所述第一驱动部件(15a,25a,35a)连接至所述第一阀盘(13a,23a,33a,53a)，所述第二驱动部件(15b,25b,35b)连接至所述第二阀盘(13b,23b,33b,53b)，尤其是所述第三驱动部件连接至所述第三阀盘。