[发明专利]热导测量装置、系统及方法

权利要求书

1.一种热导测量装置，其特征在于：所述热导测量装置包括激光发生器、光路组件、非相干光源、入射光纤、接收光纤和光电探测器，所述激光发生器通过所述光路组件向所述微纳薄膜材料投射加热激光且在所述微纳薄膜材料上形成第一光斑，所述非相干光源通过所述入射光纤向所述微纳薄膜材料投射探测光且在所述微纳薄膜材料上形成与所述第一光斑相重合的第二光斑，所述探测光经所述微纳薄膜材料反射形成第一反射光，所述光电探测器通过所述接收光纤接收所述第一反射光。

2.根据权利要求1所述的热导测量装置，其特征在于：所述入射光纤靠近所述微纳薄膜材料的一端设有光纤准直器。

3.根据权利要求1所述的热导测量装置，其特征在于：所述热导测量装置还包括设于所述入射光纤上的光耦合器，所述接收光纤连接于所述光耦合器与所述光电探测器之间，所述探测光的投射方向垂直于所述微纳薄膜材料的表面。

4.根据权利要求1所述的热导测量装置，其特征在于：所述加热激光的投射方向与所述探测光的投射方向相交设置。

5.根据权利要求1所述的热导测量装置，其特征在于：所述光路组件包括扩束器和聚焦物镜，所述加热激光依次经过所述扩束器和所述聚焦物镜投射到所述微纳薄膜材料上。

6.根据权利要求5所述的热导测量装置，其特征在于：所述光路组件还包括若干全反光镜，所述加热激光依次经过所述扩束器、各所述全反光镜和所述聚焦物镜投射到所述微纳薄膜材料上。

7.根据权利要求1所述的热导测量装置，其特征在于：所述热导测量装置还包括摄像器，所述摄像器的工作端与所述微纳薄膜材料靠近所述入射光纤的表面相对设置。

8.根据权利要求1-7任一项所述的热导测量装置，其特征在于：所述非相干光源为单色LED光源。

9.一种热导测量系统，其特征在于：所述热导测量系统包括分析设备和如权利要求1-8任一项所述的热导测量装置，所述热导测量装置的光电探测器与所述分析设备电性连接。

10.一种热导测量方法，其特征在于：所述热导测量方法包括以下步骤：

激光发生器通过光路组件向所述微纳薄膜材料投射加热激光且在所述微纳薄膜材料上形成第一光斑，以将对所述微纳薄膜材料进行局部加热；

非相干光源通过入射光纤向所述微纳薄膜材料投射探测光且在所述微纳薄膜材料上形成与所述第一光斑相重合的第二光斑；

所述探测光经所述微纳薄膜材料反射形成第一反射光，所述第一反射光经接收光纤进入光电探测器；

所述光电探测器将所述第一反射光转化为电信号，并将所述电信号传输到分析设备；

所述分析设备对所述电信号进行分析得到所述微纳薄膜材料的热导参数。